本文關(guān)鍵詞：半導(dǎo)體生產(chǎn)的CPS構(gòu)建及調(diào)度可行性分析

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【摘要】：在復(fù)雜制造及自動(dòng)控制領(lǐng)域,半導(dǎo)體生產(chǎn)調(diào)度一直是研究的熱點(diǎn)。半導(dǎo)體生產(chǎn)制造系統(tǒng)因其特有的復(fù)雜性、不確定性、多目標(biāo)性以及多約束性特征,為優(yōu)化調(diào)度、提高生產(chǎn)性能提出了挑戰(zhàn)。信息物理融合系統(tǒng)(Cyber Physical System,CPS)是一種融合計(jì)算、通信與控制的新型復(fù)雜實(shí)時(shí)分布式系統(tǒng),系統(tǒng)中計(jì)算過程和物理過程在開放環(huán)境下持續(xù)交互、深度融合,其特征和功能為離散制造的智能化生產(chǎn)和競(jìng)爭(zhēng)力的提高提供了有效的思路和途徑。本文基于信息融合系統(tǒng)的基本理念,結(jié)合其在制造業(yè)的應(yīng)用發(fā)展,探討了針對(duì)于半導(dǎo)體生產(chǎn)的CPS構(gòu)建以及進(jìn)行調(diào)度優(yōu)化的可行性。
【作者單位】： 同濟(jì)大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 半導(dǎo)體生產(chǎn) CPS 生產(chǎn)調(diào)度
【基金】：國家自然基金委資助的重點(diǎn)項(xiàng)目:復(fù)雜生產(chǎn)過程基于數(shù)據(jù)的優(yōu)化調(diào)度理論與方法(61034004) NSFC面上項(xiàng)目:基于多視圖能耗模型的能源調(diào)配與生產(chǎn)調(diào)度協(xié)同優(yōu)化(61273046) 同濟(jì)大學(xué)“中央高�；究蒲袠I(yè)務(wù)費(fèi)專項(xiàng)資金”項(xiàng)目:工業(yè)4.0理論、技術(shù)的研究與應(yīng)用
【分類號(hào)】：TN305
【正文快照】： 新型工業(yè)化·2016年第12期451半導(dǎo)體生產(chǎn)調(diào)度研究概述近年來,隨著技術(shù)的進(jìn)步和經(jīng)濟(jì)的發(fā)展,半導(dǎo)體的需求量逐年上升。半導(dǎo)體制造業(yè)已經(jīng)成為我國國民經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展的基礎(chǔ)性、戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè),越來越多的半導(dǎo)體制造廠在我國建立,半導(dǎo)體制造業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)程度也不斷上升。企業(yè)力求于借助于

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7 李佳q，

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