微流控器件延時(shí)流動(dòng)操控單元設(shè)計(jì)
本文關(guān)鍵詞:微流控器件延時(shí)流動(dòng)操控單元設(shè)計(jì)
更多相關(guān)文章: 微流控 延時(shí)操控 梳齒形單元 迷宮形單元
【摘要】:即時(shí)檢測(cè)技術(shù)越來越多的用于化學(xué)分析、醫(yī)療診斷和環(huán)境檢測(cè)。隨著生化學(xué)傳感器、混合器、后處理等系統(tǒng)在芯片實(shí)驗(yàn)室平臺(tái)中集成度的提高,對(duì)先進(jìn)的微流體處理技術(shù)和控制方法的需求也愈加迫切。但是,集成化微流體操控單元的發(fā)展仍面臨著諸多挑戰(zhàn)。當(dāng)前報(bào)道的微流體操控單元大多數(shù)為主動(dòng)式,即需要外置的流量控制設(shè)備進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。而這些設(shè)備往往笨重、龐大,難以集成,攜帶性差。基于毛細(xì)力的被動(dòng)式流體驅(qū)動(dòng)為集成化操控單元提供了一種新的選擇。然而,在微通道中,利用毛細(xì)力控制液體按特定路徑實(shí)現(xiàn)自動(dòng)流動(dòng)仍存在許多問題需要解決。本文針對(duì)基于毛細(xì)力的微流控器件延時(shí)流動(dòng)操控單元展開研究。利用通道中的微結(jié)構(gòu)尺寸的變化對(duì)不同區(qū)域毛細(xì)力進(jìn)行控制,從而達(dá)到控制液體定向和延時(shí)流動(dòng)的目的。主要研究工作包括以下幾個(gè)方面:1.設(shè)計(jì)了2種延時(shí)流動(dòng)操控單元。根據(jù)毛細(xì)壓強(qiáng)差計(jì)算原理,設(shè)計(jì)了控制液體橫向流動(dòng)、側(cè)方縱向流動(dòng)和中部縱向流動(dòng)三種微結(jié)構(gòu),通過對(duì)這三種結(jié)構(gòu)的組合、陣列,形成了梳齒形和迷宮形2種延時(shí)流動(dòng)操控單元。這2種單元可以控制液體按設(shè)計(jì)流動(dòng)路徑自主流動(dòng),并按照設(shè)定時(shí)間延長液體流動(dòng)速度。對(duì)2種操控單元的結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行分類,在之后的實(shí)驗(yàn)中分析各參數(shù)對(duì)延遲時(shí)間的影響。2.采用UV-LIGA和熱壓鍵合法制作了2種延時(shí)流動(dòng)操控單元的實(shí)驗(yàn)芯片。首先制定合理的工藝流程,使用UV-LIGA制作硅模具。再用硅模具在PMMA基片上熱壓出通道網(wǎng)絡(luò)和流體操控單元。熱壓出的通道深度與設(shè)計(jì)值偏差為-1.591μm-~0.411μm,操控單元尺寸與設(shè)計(jì)值偏差為-0.35~0.22μm。最后將PMMA蓋片與基片進(jìn)行熱鍵合,得到芯片。3.進(jìn)行2種單元的流體操控實(shí)驗(yàn)。梳齒形延時(shí)流動(dòng)操控單元有2個(gè)設(shè)計(jì)參數(shù),X1和X2。X1是矩形凸臺(tái)與通道側(cè)壁的間距;X2是相鄰兩個(gè)矩形凸臺(tái)的縱向間距。迷宮形延時(shí)流動(dòng)操控單元中有3個(gè)設(shè)計(jì)參數(shù),X3、X4和X5。X3是矩形凸臺(tái)與通道側(cè)壁的間距,也是各矩形凸臺(tái)間的橫向間距;X4是相鄰兩個(gè)矩形凸臺(tái)的縱向間距;X5是控制液體中部縱向流動(dòng)結(jié)構(gòu)中矩形凸臺(tái)的寬度。進(jìn)行2種單元的流體操控實(shí)驗(yàn),得出X1在取值范圍內(nèi)與延遲時(shí)間成正比,控制延時(shí)范圍為2.36s-4.24s;X2在取值范圍內(nèi)與延遲時(shí)間成反比,控制延時(shí)范圍為2.12s-13.96s;X3在取值范圍內(nèi)與延遲時(shí)間成正比,控制延時(shí)范圍為4.28s-4.44s;X4在取值范圍內(nèi)與延遲時(shí)間成反比,控制延時(shí)范圍為7.56s-15.84s;X5在取值范圍內(nèi)與延遲時(shí)間成正比,控制延時(shí)范圍為0.52s-0.88s。
【關(guān)鍵詞】:微流控 延時(shí)操控 梳齒形單元 迷宮形單元
【學(xué)位授予單位】:大連理工大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2016
【分類號(hào)】:TN492
【目錄】:
- 摘要5-6
- Abstract6-10
- 1 緒論10-18
- 1.1 微流控器件概述10-13
- 1.1.1 微流控器件材料10
- 1.1.2 微流控器件的制作技術(shù)10-13
- 1.2 微流體延時(shí)操控技術(shù)及國內(nèi)外研究現(xiàn)狀13-16
- 1.3 目前存在問題16-17
- 1.4 本文主要研究內(nèi)容17-18
- 2 微流體延時(shí)流動(dòng)操控單元結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)18-31
- 2.1 基本原理18-21
- 2.1.1 毛細(xì)現(xiàn)象和影響微流體流動(dòng)的因素18
- 2.1.2 毛細(xì)壓強(qiáng)計(jì)算原理18-20
- 2.1.3 延時(shí)流動(dòng)操控單元的設(shè)計(jì)要求及思路20-21
- 2.2 控制液體定向流動(dòng)結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)21-25
- 2.2.1 控制液體橫向流動(dòng)結(jié)構(gòu)21-22
- 2.2.2 控制液體側(cè)方縱向流動(dòng)結(jié)構(gòu)22-24
- 2.2.3 控制液體中部縱向流動(dòng)結(jié)構(gòu)24-25
- 2.3 兩種延時(shí)流動(dòng)操控單元的設(shè)計(jì)25-27
- 2.3.1 梳齒形延時(shí)流動(dòng)操控單元25-26
- 2.3.2 迷宮形延時(shí)流動(dòng)操控單元26-27
- 2.4 操控單元的設(shè)計(jì)參數(shù)27-30
- 2.4.1 梳齒形延時(shí)流動(dòng)操控單元設(shè)計(jì)參數(shù)27-28
- 2.4.2 迷宮形延時(shí)流動(dòng)操控單元設(shè)計(jì)參數(shù)28-30
- 2.5 本章小節(jié)30-31
- 3 微流體延時(shí)流動(dòng)操控單元的制作31-40
- 3.1 制作設(shè)備及材料31
- 3.2 硅模具的制作流程31-34
- 3.3 操控單元中基片熱壓成形34-37
- 3.3.1 熱壓成形材料預(yù)處理34
- 3.3.2 熱壓成形工藝34-37
- 3.4 操控單元的鍵合37-39
- 3.4.1 鍵合材料預(yù)處理37
- 3.4.2 低溫鍵合工藝37-39
- 3.5 本章小節(jié)39-40
- 4 延時(shí)流動(dòng)操控單元流體控制實(shí)驗(yàn)40-58
- 4.1 實(shí)驗(yàn)設(shè)備及材料40
- 4.2 實(shí)驗(yàn)流程及觀測(cè)參數(shù)40-42
- 4.2.1 梳齒形操控單元觀測(cè)參數(shù)40-41
- 4.2.2 迷宮形操控單元觀測(cè)參數(shù)41-42
- 4.3 微流體延時(shí)流動(dòng)實(shí)驗(yàn)42-57
- 4.3.1 兩種單元的延時(shí)流動(dòng)過程42-43
- 4.3.2 梳齒形單元的參數(shù)X1對(duì)延時(shí)流動(dòng)的影響分析43-45
- 4.3.3 梳齒形單元的參數(shù)X2對(duì)延時(shí)流動(dòng)的影響分析45-48
- 4.3.4 迷宮形單元的參數(shù)X3對(duì)延時(shí)流動(dòng)的影響分析48-51
- 4.3.5 迷宮單元實(shí)驗(yàn)參數(shù)X4和X5對(duì)延時(shí)流動(dòng)的影響分析51-57
- 4.4 本章小節(jié)57-58
- 5 全文總結(jié)及工作展望58-60
- 5.1 全文總結(jié)58-59
- 5.2 工作展望59-60
- 參考文獻(xiàn)60-63
- 攻讀碩士學(xué)位期間發(fā)表學(xué)術(shù)論文情況63-64
- 致謝64-65
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