本文關(guān)鍵詞：S-4700型掃描電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)與操作注意事項

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【摘要】：主要介紹了日立S-4700型掃描電子顯微鏡基本結(jié)構(gòu)特點,以及該儀器在操作過程或日常維護中需要注意的幾個方面。掃描電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)主要包括真空系統(tǒng)、電子光學(xué)系統(tǒng)和信息接收顯示系統(tǒng)3個主要部分。本文針對S-4700型掃描電子顯微鏡分別對如何保證良好的真空條件;電子光學(xué)系統(tǒng)中的電子槍、電子透鏡、掃描系統(tǒng)和消象散裝置的結(jié)構(gòu)與工作原理;以及信息接收顯示系統(tǒng)中的二次電子檢測器的結(jié)構(gòu)與工作原理進行了簡單的介紹。對應(yīng)于以上的結(jié)構(gòu)介紹,對儀器在日常維護中可能出現(xiàn)的問題進行了簡單的分析。
【作者單位】： 蘇州大學(xué)分析測試中心;
【關(guān)鍵詞】： S-型掃描電子顯微鏡 結(jié)構(gòu) 維護
【分類號】：TN16
【正文快照】： 掃描電子顯微鏡(scanning electron micro-scope)簡稱SEM,是近幾十年來迅速發(fā)展并成熟的一種電子光學(xué)儀器,它是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種用于觀測微區(qū)形貌的手段[1]。簡單來講,就是用聚焦的很細的電子束光柵式的逐點掃描要檢測的樣品表面,由于電子束與樣品相互作用

【相似文獻】

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本文編號：712611