本文關(guān)鍵詞：基于拉曼光譜技術(shù)的光柵耦合結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體激光器的可靠性分析

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【摘要】：光柵耦合結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體激光器在自由空間光通信、衛(wèi)星間通信、激光雷達(dá)測距、大氣環(huán)境檢測以及醫(yī)學(xué)成像等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前景。為了分析光柵耦合結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體激光器的可靠性,本文基于拉曼光譜技術(shù),對光柵耦合結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體激光器在不同的制備階段及其成品進(jìn)行了檢測。我們發(fā)現(xiàn),對于未進(jìn)行任何工藝加工的半導(dǎo)體激光器芯片,GaAs縱向(LO)光學(xué)光子模式的振動(dòng)強(qiáng)而橫向(TO)光學(xué)光子模式的振動(dòng)弱;當(dāng)在GaAs芯片表面生長一層SiO_2膜后,LO模式向長波數(shù)方向移動(dòng),強(qiáng)度沒有變化。當(dāng)在生長SiO_2膜的GaAs芯片上刻蝕100μm的臺(tái)面后,GaAs的LO模式的振動(dòng)減弱而TO模式的振動(dòng)加強(qiáng),且峰出現(xiàn)寬化現(xiàn)象;在100μm的臺(tái)面上刻蝕光柵后,GaAs的LO模式的振動(dòng)繼續(xù)減弱而TO模式的變得更強(qiáng),這說明在光柵耦合激光器的制備工藝過程中引入了缺陷。通過與無光柵的半導(dǎo)體激光器進(jìn)行對比測試,光柵耦合結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體激光器無論出光面上有無缺陷,其拉曼光譜均有缺陷峰存在,進(jìn)一步證明了在光柵結(jié)構(gòu)的制備過程中,引入了應(yīng)變或者缺陷,對其可靠性產(chǎn)生了影響,導(dǎo)致光柵耦合結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體激光器可靠性降低。
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所發(fā)光學(xué)及應(yīng)用國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中國科學(xué)院大學(xué);吉林大學(xué)物理學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 激光器 拉曼光譜 半導(dǎo)體激光器 可靠性
【基金】：國家自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目(61234004,61434005,61204055,61176045,61306086,61474118,61474010) 吉林省科技廳項(xiàng)目(20140101172JC,20130206006GX)資助
【分類號】：TN248.4;O657.37
【正文快照】： 2.中國科學(xué)院大學(xué),北京1000393.吉林大學(xué)物理學(xué)院,吉林長春130012引言半導(dǎo)體激光器具有效率高、體積小、長壽命等優(yōu)點(diǎn),在激光加工、成像、傳感、醫(yī)療等領(lǐng)域都有著廣泛的應(yīng)用。光柵耦合結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體激光器近幾年更是呈現(xiàn)出強(qiáng)勁的發(fā)展趨勢。光柵耦合結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體激光器在自由空間

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中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 ;微型面發(fā)光半導(dǎo)體激光器[J];航空精密制造技術(shù);2000年01期

2 ;采用藍(lán)色半導(dǎo)體激光器的光盤[J];光機(jī)電信息;2000年01期

3 劉鳳英,王艷輝,李桂琴;半導(dǎo)體激光器發(fā)展概論[J];物理與工程;2000年06期

4 完顏圣;半導(dǎo)體激光器商品的未來發(fā)展[J];激光與光電子學(xué)進(jìn)展;2000年06期

5 郭明秀,俞曉梅;硅基藍(lán)光半導(dǎo)體激光器[J];激光與光電子學(xué)進(jìn)展;2000年09期

6 ;美開發(fā)軍民兩用半導(dǎo)體激光器[J];激光與光電子學(xué)進(jìn)展;2000年11期

7 江濤;量子阱結(jié)構(gòu)紅外半導(dǎo)體激光器[J];紅外;2000年07期

8 ;半導(dǎo)體激光器[J];中國光學(xué)與應(yīng)用光學(xué)文摘;2001年02期

9 金友;日趨成熟的數(shù)千瓦級半導(dǎo)體激光器[J];光機(jī)電信息;2001年01期

10 左慧莉,王林斗;帶有保護(hù)功能的半導(dǎo)體激光器穩(wěn)流源[J];儀表技術(shù);2001年06期

中國重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 張興德;;半導(dǎo)體激光器的進(jìn)展及其在軍事上的應(yīng)用[A];西部大開發(fā) 科教先行與可持續(xù)發(fā)展——中國科協(xié)2000年學(xué)術(shù)年會(huì)文集[C];2000年

2 陳良惠;;我國半導(dǎo)體激光器的新進(jìn)展(報(bào)告內(nèi)容摘要)[A];光電技術(shù)與系統(tǒng)文選——中國光學(xué)學(xué)會(huì)光電技術(shù)專業(yè)委員會(huì)成立二十周年暨第十一屆全國光電技術(shù)與系統(tǒng)學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2005年

3 張玉馳;王曉勇;李剛;王軍民;張?zhí)觳?;自由運(yùn)轉(zhuǎn)半導(dǎo)體激光器邊模間的強(qiáng)度起伏關(guān)聯(lián)[A];中國光學(xué)學(xué)會(huì)2006年學(xué)術(shù)大會(huì)論文摘要集[C];2006年

4 雷志鋒;黃云;楊少華;;半導(dǎo)體激光器的可靠性篩選和壽命評價(jià)[A];中國電子學(xué)會(huì)可靠性分會(huì)第十三屆學(xué)術(shù)年會(huì)論文選[C];2006年

5 徐強(qiáng);;半導(dǎo)體激光器的矢量光場分析[A];中國光學(xué)學(xué)會(huì)2011年學(xué)術(shù)大會(huì)摘要集[C];2011年

6 肖樹妹;梅海平;黃宏華;饒瑞中;;半導(dǎo)體激光器電流頻率調(diào)制率的測量[A];第九屆全國光電技術(shù)學(xué)術(shù)交流會(huì)論文集（上冊）[C];2010年

7 胡靜芳;陳斌;陸道理;詹敦平;;基于半導(dǎo)體激光器的近紅外農(nóng)產(chǎn)品品質(zhì)專用檢測儀的設(shè)計(jì)[A];科學(xué)儀器服務(wù)民生學(xué)術(shù)大會(huì)論文集[C];2011年

8 劉賢炳;梁元濤;李蔚;楊名;丁勇;楊寧;徐國偉;龍熙平;楊鑄;;直接調(diào)制半導(dǎo)體激光器的非線性動(dòng)力學(xué)特性研究[A];全國第十次光纖通信暨第十一屆集成光學(xué)學(xué)術(shù)會(huì)議（OFCIO’2001）論文集[C];2001年

9 陳炳林;張河;孫全意;;微型大電流窄脈寬半導(dǎo)體激光器電源的研究[A];中國儀器儀表學(xué)會(huì)學(xué)術(shù)論文集[C];2004年

10 許文海;王艷;林龍濤;;半導(dǎo)體激光器環(huán)境溫度控制儀的研究[A];2004全國測控、計(jì)量與儀器儀表學(xué)術(shù)年會(huì)論文集（下冊）[C];2004年

中國重要報(bào)紙全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 ;半導(dǎo)體激光器應(yīng)用市場廣闊[N];中國電子報(bào);2000年

2 正　子;超寬帶半導(dǎo)體激光器問世[N];光明日報(bào);2002年

3 王晶;朗訊貝爾實(shí)驗(yàn)室推出新款半導(dǎo)體激光器[N];通信產(chǎn)業(yè)報(bào);2002年

4 周碩;日亞化學(xué)推出488nm波長半導(dǎo)體激光器[N];電子資訊時(shí)報(bào);2008年

5 ;高性能超寬帶半導(dǎo)體激光器[N];人民郵電;2002年

6 記者 齊芳邋通訊員 劉力;我國氮化鎵藍(lán)光半導(dǎo)體激光器研究取得重大突破[N];光明日報(bào);2007年

7 中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所研究員 惠州市中科光電有限公司副總經(jīng)理 李玉璋;光存儲(chǔ)技術(shù)升級考驗(yàn)元器件配套能力[N];中國電子報(bào);2005年

8 劉晶;超寬帶半導(dǎo)體激光器問世[N];中國電子報(bào);2002年

9 邵珍珍 本報(bào)記者 張顯峰;藍(lán)光半導(dǎo)體激光器讓300張光盤變1張[N];科技日報(bào);2005年

10 記者 張兆軍;我大功率半導(dǎo)體激光器“刺破”國外技術(shù)壁壘[N];科技日報(bào);2012年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 盧林林;基于重構(gòu)等效啁啾技術(shù)的1.3μm DFB半導(dǎo)體激光器及其陣列研究[D];南京大學(xué);2014年

2 鄧軍;半導(dǎo)體激光器驅(qū)動(dòng)模式與可靠性研究[D];吉林大學(xué);2008年

3 郜峰利;半導(dǎo)體激光器低頻電噪聲的特性及其檢測技術(shù)研究[D];吉林大學(xué);2008年

4 馮列峰;半導(dǎo)體激光器光電特性的研究[D];天津大學(xué);2007年

5 李再金;半導(dǎo)體激光器腔面光學(xué)膜關(guān)鍵技術(shù)研究[D];中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2010年

6 常國龍;半導(dǎo)體激光器輻射效應(yīng)及影響研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2010年

7 范賢光;脈沖注入式半導(dǎo)體激光器電—光—熱特性及其測試技術(shù)研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2010年

8 程東明;無鋁半導(dǎo)體激光器列陣及其組裝技術(shù)的研究[D];中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2003年

9 曹軍勝;半導(dǎo)體激光器及其列陣的無損檢測技術(shù)研究[D];吉林大學(xué);2007年

10 徐強(qiáng);半導(dǎo)體激光器光束傳輸特性研究[D];西安電子科技大學(xué);2007年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 邱忠陽;半導(dǎo)體激光器腔面鈍化的研究[D];長春理工大學(xué);2010年

2 劉元元;互注入半導(dǎo)體激光器動(dòng)態(tài)特性研究[D];西南大學(xué);2011年

3 康健斌;脈沖式半導(dǎo)體激光器驅(qū)動(dòng)源的設(shè)計(jì)[D];西安電子科技大學(xué);2011年

4 郭少華;半導(dǎo)體激光器特性參數(shù)測量系統(tǒng)的設(shè)計(jì)研制[D];天津工業(yè)大學(xué);2005年

5 張毅;半導(dǎo)體激光器光混沌和同步的理論研究[D];西南師范大學(xué);2005年

6 徐雅t，

本文編號：701428