本文關鍵詞：基于拉曼光譜技術的光柵耦合結構半導體激光器的可靠性分析

  更多相關文章： 激光器 拉曼光譜 半導體激光器 可靠性

【摘要】：光柵耦合結構的半導體激光器在自由空間光通信、衛(wèi)星間通信、激光雷達測距、大氣環(huán)境檢測以及醫(yī)學成像等領域有著廣泛的應用前景。為了分析光柵耦合結構的半導體激光器的可靠性,本文基于拉曼光譜技術,對光柵耦合結構的半導體激光器在不同的制備階段及其成品進行了檢測。我們發(fā)現(xiàn),對于未進行任何工藝加工的半導體激光器芯片,GaAs縱向(LO)光學光子模式的振動強而橫向(TO)光學光子模式的振動弱;當在GaAs芯片表面生長一層SiO_2膜后,LO模式向長波數(shù)方向移動,強度沒有變化。當在生長SiO_2膜的GaAs芯片上刻蝕100μm的臺面后,GaAs的LO模式的振動減弱而TO模式的振動加強,且峰出現(xiàn)寬化現(xiàn)象;在100μm的臺面上刻蝕光柵后,GaAs的LO模式的振動繼續(xù)減弱而TO模式的變得更強,這說明在光柵耦合激光器的制備工藝過程中引入了缺陷。通過與無光柵的半導體激光器進行對比測試,光柵耦合結構半導體激光器無論出光面上有無缺陷,其拉曼光譜均有缺陷峰存在,進一步證明了在光柵結構的制備過程中,引入了應變或者缺陷,對其可靠性產(chǎn)生了影響,導致光柵耦合結構的半導體激光器可靠性降低。
【作者單位】： 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所發(fā)光學及應用國家重點實驗室;中國科學院大學;吉林大學物理學院;
【關鍵詞】： 激光器 拉曼光譜 半導體激光器 可靠性
【基金】：國家自然科學基金重點項目(61234004,61434005,61204055,61176045,61306086,61474118,61474010) 吉林省科技廳項目(20140101172JC,20130206006GX)資助
【分類號】：TN248.4;O657.37
【正文快照】： 2.中國科學院大學,北京1000393.吉林大學物理學院,吉林長春130012引言半導體激光器具有效率高、體積小、長壽命等優(yōu)點,在激光加工、成像、傳感、醫(yī)療等領域都有著廣泛的應用。光柵耦合結構半導體激光器近幾年更是呈現(xiàn)出強勁的發(fā)展趨勢。光柵耦合結構的半導體激光器在自由空間

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 ;微型面發(fā)光半導體激光器[J];航空精密制造技術;2000年01期

2 ;采用藍色半導體激光器的光盤[J];光機電信息;2000年01期

3 劉鳳英,王艷輝,李桂琴;半導體激光器發(fā)展概論[J];物理與工程;2000年06期

4 完顏圣;半導體激光器商品的未來發(fā)展[J];激光與光電子學進展;2000年06期

5 郭明秀,俞曉梅;硅基藍光半導體激光器[J];激光與光電子學進展;2000年09期

6 ;美開發(fā)軍民兩用半導體激光器[J];激光與光電子學進展;2000年11期

7 江濤;量子阱結構紅外半導體激光器[J];紅外;2000年07期

8 ;半導體激光器[J];中國光學與應用光學文摘;2001年02期

9 金友;日趨成熟的數(shù)千瓦級半導體激光器[J];光機電信息;2001年01期

10 左慧莉,王林斗;帶有保護功能的半導體激光器穩(wěn)流源[J];儀表技術;2001年06期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 張興德;;半導體激光器的進展及其在軍事上的應用[A];西部大開發(fā) 科教先行與可持續(xù)發(fā)展——中國科協(xié)2000年學術年會文集[C];2000年

2 陳良惠;;我國半導體激光器的新進展(報告內(nèi)容摘要)[A];光電技術與系統(tǒng)文選——中國光學學會光電技術專業(yè)委員會成立二十周年暨第十一屆全國光電技術與系統(tǒng)學術會議論文集[C];2005年

3 張玉馳;王曉勇;李剛;王軍民;張?zhí)觳?;自由運轉半導體激光器邊模間的強度起伏關聯(lián)[A];中國光學學會2006年學術大會論文摘要集[C];2006年

4 雷志鋒;黃云;楊少華;;半導體激光器的可靠性篩選和壽命評價[A];中國電子學會可靠性分會第十三屆學術年會論文選[C];2006年

5 徐強;;半導體激光器的矢量光場分析[A];中國光學學會2011年學術大會摘要集[C];2011年

6 肖樹妹;梅海平;黃宏華;饒瑞中;;半導體激光器電流頻率調(diào)制率的測量[A];第九屆全國光電技術學術交流會論文集（上冊）[C];2010年

7 胡靜芳;陳斌;陸道理;詹敦平;;基于半導體激光器的近紅外農(nóng)產(chǎn)品品質(zhì)專用檢測儀的設計[A];科學儀器服務民生學術大會論文集[C];2011年

8 劉賢炳;梁元濤;李蔚;楊名;丁勇;楊寧;徐國偉;龍熙平;楊鑄;;直接調(diào)制半導體激光器的非線性動力學特性研究[A];全國第十次光纖通信暨第十一屆集成光學學術會議（OFCIO’2001）論文集[C];2001年

9 陳炳林;張河;孫全意;;微型大電流窄脈寬半導體激光器電源的研究[A];中國儀器儀表學會學術論文集[C];2004年

10 許文海;王艷;林龍濤;;半導體激光器環(huán)境溫度控制儀的研究[A];2004全國測控、計量與儀器儀表學術年會論文集（下冊）[C];2004年

中國重要報紙全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 ;半導體激光器應用市場廣闊[N];中國電子報;2000年

2 正　子;超寬帶半導體激光器問世[N];光明日報;2002年

3 王晶;朗訊貝爾實驗室推出新款半導體激光器[N];通信產(chǎn)業(yè)報;2002年

4 周碩;日亞化學推出488nm波長半導體激光器[N];電子資訊時報;2008年

5 ;高性能超寬帶半導體激光器[N];人民郵電;2002年

6 記者 齊芳邋通訊員 劉力;我國氮化鎵藍光半導體激光器研究取得重大突破[N];光明日報;2007年

7 中國科學院半導體研究所研究員 惠州市中科光電有限公司副總經(jīng)理 李玉璋;光存儲技術升級考驗元器件配套能力[N];中國電子報;2005年

8 劉晶;超寬帶半導體激光器問世[N];中國電子報;2002年

9 邵珍珍 本報記者 張顯峰;藍光半導體激光器讓300張光盤變1張[N];科技日報;2005年

10 記者 張兆軍;我大功率半導體激光器“刺破”國外技術壁壘[N];科技日報;2012年

中國博士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 盧林林;基于重構等效啁啾技術的1.3μm DFB半導體激光器及其陣列研究[D];南京大學;2014年

2 鄧軍;半導體激光器驅(qū)動模式與可靠性研究[D];吉林大學;2008年

3 郜峰利;半導體激光器低頻電噪聲的特性及其檢測技術研究[D];吉林大學;2008年

4 馮列峰;半導體激光器光電特性的研究[D];天津大學;2007年

5 李再金;半導體激光器腔面光學膜關鍵技術研究[D];中國科學院研究生院（長春光學精密機械與物理研究所）;2010年

6 常國龍;半導體激光器輻射效應及影響研究[D];哈爾濱工業(yè)大學;2010年

7 范賢光;脈沖注入式半導體激光器電—光—熱特性及其測試技術研究[D];哈爾濱工業(yè)大學;2010年

8 程東明;無鋁半導體激光器列陣及其組裝技術的研究[D];中國科學院研究生院（長春光學精密機械與物理研究所）;2003年

9 曹軍勝;半導體激光器及其列陣的無損檢測技術研究[D];吉林大學;2007年

10 徐強;半導體激光器光束傳輸特性研究[D];西安電子科技大學;2007年

中國碩士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 邱忠陽;半導體激光器腔面鈍化的研究[D];長春理工大學;2010年

2 劉元元;互注入半導體激光器動態(tài)特性研究[D];西南大學;2011年

3 康健斌;脈沖式半導體激光器驅(qū)動源的設計[D];西安電子科技大學;2011年

4 郭少華;半導體激光器特性參數(shù)測量系統(tǒng)的設計研制[D];天津工業(yè)大學;2005年

5 張毅;半導體激光器光混沌和同步的理論研究[D];西南師范大學;2005年

6 徐雅t，

本文編號：701428