發(fā)布時間：2017-08-12 07:22

  本文關(guān)鍵詞：基于Ptychography的極紫外光刻投影物鏡波像差檢測技術(shù)

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【摘要】：Ptychography是一種基于掃描式相干衍射成像的相位恢復(fù)技術(shù),實驗裝置簡單,抗干擾能力強(qiáng)。將Ptychography技術(shù)用于投影物鏡波像差的檢測,并分析了檢測不同數(shù)值孔徑投影物鏡波像差所采用的光場傳播公式、離散化條件及實驗架構(gòu)。數(shù)值仿真與實驗結(jié)果表明,Ptychography技術(shù)用于波像差檢測時檢測標(biāo)記的通光率需要在45%~80%范圍內(nèi);增加標(biāo)記圖案的復(fù)雜性并在計算過程中增加配準(zhǔn)環(huán)節(jié)可提高收斂速度與檢測精度;波像差檢測精度在10~(-3)λ以內(nèi)。將Ptychography技術(shù)應(yīng)用于極紫外光刻投影物鏡波像差檢測是可行的。
【作者單位】： 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所信息光學(xué)與光電技術(shù)實驗室;中國科學(xué)院大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 測量 極紫外光刻 波像差檢測 Ptychography PIE 相位恢復(fù) 投影物鏡
【基金】：國家自然科學(xué)基金重點項目(61205102,61275207,61405210,61474129) 中國科學(xué)院青年創(chuàng)新促進(jìn)會項目
【分類號】：TN305.7;O436.1
【正文快照】： 投影物鏡系統(tǒng)是光刻機(jī)的核心分系統(tǒng)之一,對投影物鏡系統(tǒng)的波像差進(jìn)行高精度檢測和控制是實現(xiàn)高質(zhì)量光刻成像的必要條件[1]。當(dāng)前最具代表性并已成熟應(yīng)用于主流光刻機(jī)中的波像差檢測技術(shù)是Shack-Hartmann傳感器和剪切干涉儀[2-9]。這類技術(shù)的實現(xiàn)方法是將特定的光學(xué)元件(準(zhǔn)直透

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號：660403