發(fā)布時間：2017-08-12 07:20

  本文關(guān)鍵詞：中國建材總院重要科技成果展示——集成電路制造關(guān)鍵裝備用高精密碳化硅陶瓷部件研制技術(shù)

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【摘要】：正"集成電路制造關(guān)鍵裝備用高精密碳化硅陶瓷部件研制技術(shù)"是中國建筑材料科學(xué)研究總院為清華大學(xué)等單位承擔(dān)的國家科技重大專項"極大規(guī)模集成電路制造與成套工藝專項"(02專項)中集成電路制造關(guān)鍵制造裝備光刻機(jī)工件臺用碳化硅陶瓷部件配套開展研制的。集成電路產(chǎn)業(yè)是信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的核心,是支撐社會經(jīng)濟(jì)發(fā)展和保障國家安全的戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性和先導(dǎo)型產(chǎn)業(yè),其中集成電路關(guān)鍵裝備的制造是集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。目前集成電路制造高端裝備被世界少數(shù)幾個國
【關(guān)鍵詞】： 碳化硅陶瓷;集成電路制造;光刻機(jī);材料科學(xué)研究;中國建材;制造裝備;成套工藝;中國建筑;信息技術(shù)產(chǎn)業(yè);重要科技成果;
【分類號】：TQ174.75;TN405
【正文快照】： “集成電路制造關(guān)鍵裝備用高精密碳化硅陶瓷部件研制技術(shù)”是中國建筑材料科學(xué)研究總院為清華大學(xué)等單位承擔(dān)的國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造與成套工藝專項”(02專項)中集成電路制造關(guān)鍵制造裝備光刻機(jī)工件臺用碳化硅陶瓷部件配套開展研制的。集成電路產(chǎn)業(yè)是信息技，

本文編號：660387