本文關(guān)鍵詞：基于3-RRR結(jié)構(gòu)的光學(xué)元件柔順微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)的位姿正解

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【摘要】：針對(duì)光刻投影物鏡中光學(xué)元件X/Y/θ微動(dòng)調(diào)整的工程需求,研制了一種基于3-RRR結(jié)構(gòu)的光學(xué)元件柔順微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu),并對(duì)其位姿正解進(jìn)行了研究。建立了3-RRR柔順并聯(lián)機(jī)構(gòu)的偽剛體模型,并采用矢量代數(shù)法理論推導(dǎo)了該機(jī)構(gòu)的位姿正解,得到了它的理論雅克比矩陣。然后,在NASTRAN中建立了3-RRR柔順并聯(lián)機(jī)構(gòu)的有限元模型,得到了仿真環(huán)境下該機(jī)構(gòu)的位姿正解和雅克比矩陣。最后,對(duì)研制的3-RRR柔順并聯(lián)機(jī)構(gòu)進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究,得到了該機(jī)構(gòu)真實(shí)的位姿正解和雅克比矩陣。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,實(shí)驗(yàn)雅克比矩陣的各項(xiàng)系數(shù)分別為0.577 7、-0.304 0、-0.283 3、0.002 1、0.524 6、-0.516 5、1.402 6、1.481 9、1.435 3,而理論雅克比矩陣相對(duì)應(yīng)的各項(xiàng)系數(shù)分別為0.612 9、-0.3065、-0.306 5、0、0.530 8、-0.530 8、1.444 6、1.444 6、1.444 6,得到的數(shù)據(jù)表明:采用矢量代數(shù)法能夠理論推導(dǎo)出該機(jī)構(gòu)正確的位姿正解公式。提出的3-RRR柔順微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)位姿正解方法為微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)的研制提供了設(shè)計(jì)依據(jù)。
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室超精密光學(xué)工程研究中心;長春理工大學(xué)經(jīng)濟(jì)管理學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 柔順并聯(lián)機(jī)構(gòu) 光學(xué)元件微動(dòng)調(diào)整 位姿正解 偽剛體模型 矢量代數(shù)法 雅克比矩陣
【基金】：國家重大專項(xiàng)基金資助項(xiàng)目(No.2009ZX02205) 國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(No.61504142)
【分類號(hào)】：TN305.7
【正文快照】： 1引言光刻機(jī)作為半導(dǎo)體集成電路領(lǐng)域中的核心設(shè)備,其工作性能直接決定終端產(chǎn)品芯片的特征尺寸。隨著芯片線寬精細(xì)化需求,對(duì)光刻機(jī)關(guān)鍵組成部分的光刻投影物鏡,也提出了越來越高的像差指標(biāo)要求[1]。因此高精度光刻投影物鏡中的多個(gè)敏感光學(xué)元件在裝調(diào)和周期性維護(hù)過程中需要具

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1 金虎;相對(duì)位姿測(cè)量解算的FPGA實(shí)現(xiàn)[D];重慶大學(xué);2011年

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本文編號(hào)：647811