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介電材料在介電潤(rùn)濕器件中的應(yīng)用進(jìn)展

發(fā)布時(shí)間:2017-08-08 04:24

  本文關(guān)鍵詞:介電材料在介電潤(rùn)濕器件中的應(yīng)用進(jìn)展


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【摘要】:介電材料的選擇以及介電層的制備是介電潤(rùn)濕器件制作工藝中最關(guān)鍵的部分,在介電潤(rùn)濕器件中,介電層不僅是其重要組成部分,也是影響器件實(shí)用性能和具體應(yīng)用領(lǐng)域的關(guān)鍵。首先簡(jiǎn)述了介電潤(rùn)濕驅(qū)動(dòng)的原理以及介電材料的選取原則,然后在結(jié)合國內(nèi)外該領(lǐng)域研究現(xiàn)狀的基礎(chǔ)上對(duì)已報(bào)道的介電材料在各類介電潤(rùn)濕器件中的應(yīng)用實(shí)例進(jìn)行了歸納,最后對(duì)目前介電材料在應(yīng)用中出現(xiàn)的問題以及解決方法進(jìn)行了討論。
【作者單位】: 中北大學(xué)電子測(cè)試技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中北大學(xué)儀器科學(xué)與動(dòng)態(tài)測(cè)試教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;路易斯安那州立大學(xué)機(jī)械工程系;
【關(guān)鍵詞】介電材料 介質(zhì)上電潤(rùn)濕 微流控 液體透鏡
【基金】:國家自然科學(xué)基金(51475438;61401405) 山西省留學(xué)基金(2014-060)
【分類號(hào)】:TN492
【正文快照】: 3路易斯安那州立大學(xué)機(jī)械工程系,巴吞魯日70803)王亮:男,1990年生,碩士生,研究方向?yàn)榻殡姖?rùn)濕微流控芯片和可變焦液體透鏡E-mail:biomems_wl@163.com張斌珍:通訊0引言微流控系統(tǒng)因具有樣品消耗小、檢測(cè)效率高、易于和其他技術(shù)設(shè)備集成等優(yōu)點(diǎn),近年來在化學(xué)分析、生物醫(yī)療、食品

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中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 ;絕緣與介電材料[J];電子科技文摘;1999年04期

2 ;絕緣與介電材料[J];電子科技文摘;2000年05期

3 ;絕緣與介電材料[J];電子科技文摘;2000年06期

4 袁戰(zhàn)恒,韓九強(qiáng);介電材料溫頻特性測(cè)控系統(tǒng)[J];壓電與聲光;1999年03期

5 ;中外合作研究高介電材料獲突破[J];物理通報(bào);2002年07期

6 ;高介電材料研究在中國獲突破 新的柵介質(zhì)材料有望65納米以下工藝中替代二氧化硅[J];中國集成電路;2002年07期

7 ;絕緣與介電材料[J];電子科技文摘;1999年06期

8 劉廣榮;;諾發(fā)推出業(yè)界首套用于90nm以下工藝介電材料處理的UVTP[J];半導(dǎo)體信息;2006年03期

9 徐洋;鐘朝位;張樹人;;CaCu_3Ti_4O_(12)高介電材料的研究進(jìn)展[J];材料導(dǎo)報(bào);2007年05期

10 Edward N. Peters;Scott M Fisher;郭樺;潘勝平;;關(guān)于多官能團(tuán)聚苯醚低聚體增強(qiáng)介電材料性能的研究(二)[J];覆銅板資訊;2009年04期

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