本文關(guān)鍵詞：基于Photo-CELIV測量載流子遷移率實驗系統(tǒng)

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【摘要】：搭建了一套基于Photo-CELIV測量載流子遷移率的實驗系統(tǒng)。采用Nd~(3+):YAG脈沖激光器作為誘導光源,在1~20 Hz的工作頻率下,實驗系統(tǒng)可輸出波長為532 nm、脈寬為10 ns的激光脈沖,其能量在0.1~1 mJ范圍內(nèi)可調(diào),光斑直徑小于2 mm,激光器持續(xù)工作5 h后的能量不穩(wěn)定度為±8%。該研究為半導體材料載流子遷移率的測量提供了一定的參考。
【作者單位】： 長春理工大學機電工程學院;
【關(guān)鍵詞】： 激光技術(shù) 固體激光器 光誘導線性增壓載流子提取法 載流子遷移率
【基金】：國家863計劃(2012AAXXX090)
【分類號】：TN248;TN304
【正文快照】： l引言 隨著半導體材料器件開發(fā)與應用的飛速發(fā)展,人們越來越清晰地認識到,半導體材料中載流子遷移率是影響半導體器件性能的重要因素之一[15]。載流子遷移率主要是用來衡量半導體材料中載流子的傳輸能力[68],它直接反映了載流子在外部物理場作用下的動力學特征[91°]。因此,

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本文編號：634987