本文關鍵詞：大口徑非球面鏡檢測中激光跟蹤儀測角誤差研究

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【摘要】：為了滿足大口徑反射鏡研磨階段的面形檢測需求,分析了激光跟蹤儀測角誤差的來源,提出了一種基于S多項式擬合的矯正測角誤差的方法,該矯正方法能有效克服采樣位置誤差和隨機誤差帶來的影響。針對不同頻段測角誤差,提出母線和米字格采樣法,其中母線采樣法對10%以內的標定實驗隨機誤差有較好的抑制作用。矯正方法的可行性得以驗證,從而為進一步實驗提供了理論基礎。
【作者單位】： 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所中國科學院光學系統(tǒng)先進制造技術重點實驗室;中國科學院大學;
【關鍵詞】： 光學設計 激光跟蹤儀 角度誤差補償 大口徑非球面鏡 多項式擬合
【基金】：國家自然科學基金青年科學基金(61505205)
【分類號】：TH744.5
【正文快照】： 2中國科學院大學,北京100049非球面鏡相對于球面鏡,不僅能夠降低系統(tǒng)的復雜程度,而且可以大幅提高系統(tǒng)性能,廣泛應用于大型光學系統(tǒng)。隨著光學系統(tǒng)對大視場、高分辨率以及寬覆蓋需求的不斷增長,光學成像系統(tǒng)的口徑也在不斷增加。大口徑非球面鏡作為關鍵的光學元件,制造工藝復

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本文編號：618488