本文關(guān)鍵詞：基于邊緣剪切轉(zhuǎn)移技術(shù)制備硅基柔性光波導

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【摘要】：無機柔性光電子技術(shù)由于具有柔性、便攜、大面積等優(yōu)點而受到科研人員的廣泛關(guān)注,并取得了長足的進展.制備無機柔性光電子器件的技術(shù)關(guān)鍵是將傳統(tǒng)剛性襯底上的納米"構(gòu)筑單元"(Building Blocks)以一種可控的、精確的、具有超高對準度的方式集成在柔性基底上.本文針對"轉(zhuǎn)印"(Transfer Printing)技術(shù)中納米"構(gòu)筑單元"向柔性襯底集成時的可控轉(zhuǎn)移及確定性組裝(Deterministic Assembly)等難題,提出了邊緣剪切轉(zhuǎn)移技術(shù),實現(xiàn)了柔性硅納米帶陣列在柔性基底上的制備及確定性組裝.結(jié)合懸臂梁模型及有限元模擬,得出懸空硅納米帶內(nèi)部在邊緣剪切轉(zhuǎn)移過程中所產(chǎn)生的應力與其厚度、寬度之間的函數(shù)關(guān)系.此外,本文還研究了不同方向硅條帶在邊緣剪切轉(zhuǎn)移的過程中所制備硅納米帶的邊緣形貌,并優(yōu)化初始硅條帶的方向,得到邊緣平整的硅納米帶.最終,利用該技術(shù)制備出柔性襯底上的硅基光波導.
【作者單位】： 復旦大學材料科學系;中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所信息功能材料國家重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 邊緣剪切轉(zhuǎn)移 納米薄膜 硅波導 柔性光電子技術(shù)
【基金】：國家自然科學基金(批準號:61321492,61176001,51222211,61274136,51322201) 高等學校博士學科點專項科研基金(編號:20120071110025) 上海市科學技術(shù)委員會基礎(chǔ)研究重大重點項目(編號:14JC1400200)資助
【分類號】：TN252
【正文快照】： 1引言作為功能材料被廣泛應用于無機柔性光電子技術(shù)[9].實現(xiàn)無機柔性光電子器件的技術(shù)關(guān)鍵是將傳統(tǒng)剛性隨著納米科學與技術(shù)的不斷發(fā)展以及人們對柔基底上的無機半導體納米薄膜通過一定的技術(shù)手段性光電子技術(shù)的科學認知不斷提高,不同形式、不同轉(zhuǎn)移至柔性基底上.目前,較為常用

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本文編號：608508