本文關(guān)鍵詞：基于空間光調(diào)制器的飛秒并行加工方法研究

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【摘要】：針對(duì)飛秒激光微加工中能量利用率和加工效率低的問題,提出一種基于空間光調(diào)制器的飛秒并行加工方法。在討論衍射光柵入射角與衍射角關(guān)系的基礎(chǔ)上,分析了疊加多個(gè)衍射光柵產(chǎn)生多光束的原理,運(yùn)用GS算法對(duì)目標(biāo)多光束進(jìn)行優(yōu)化并計(jì)算出相應(yīng)的相位全息圖,將該全息圖加載到空間光調(diào)制器中獲得了多光束。采用脈寬100fs、波長(zhǎng)800nm的飛秒激光,進(jìn)行聚焦PMMA樣品內(nèi)部的并行加工實(shí)驗(yàn),觀察到PMMA上多點(diǎn)組合的"一"和"工"字型,得到了光束能量均勻的圖形。實(shí)驗(yàn)結(jié)果論證了該方法對(duì)于多光束并行加工控制的有效性。
【作者單位】： 湖北工業(yè)大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院;湖北工業(yè)大學(xué)理學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 激光加工 并行加工 空間光調(diào)制器 GS算法 多光束
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(11204071,51575164) 國(guó)家科技支撐計(jì)劃(2015BAF20B03) 湖北省自然科學(xué)基金(2014CFB596) 湖北省科技支撐計(jì)劃(2015BAA066)
【分類號(hào)】：TN761
【正文快照】： 引言激光加工是一種非接觸加工方式,具有能量密度高、方向性好、高相干性、熱影響區(qū)小等優(yōu)點(diǎn)[1],在工業(yè)加工領(lǐng)域中備受青睞。連續(xù)和長(zhǎng)脈沖激光器主要依靠聚焦產(chǎn)生的高溫來燒蝕材料,熱擴(kuò)散范圍大,在對(duì)一些特殊材料,例如橡膠、塑料等,仍會(huì)出現(xiàn)明顯的燒蝕現(xiàn)象[2]。而且加工精度有

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前6條

1 李志武,朱玉超,劉宏,李在貴;并行加工過程的公平控制器設(shè)計(jì)方法[J];機(jī)械科學(xué)與技術(shù);1996年06期

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中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 汪金禮;飛秒激光全息并行加工中若干關(guān)鍵問題研究[D];安徽大學(xué);2013年

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本文編號(hào)：606532