本文關(guān)鍵詞：室溫條件下射頻磁控濺射法制備AZO薄膜的結(jié)構(gòu)與光電性能（英文）

  更多相關(guān)文章： AZO薄膜 顯微組織 光電學(xué)性能 RF磁控濺射

【摘要】：采用高致密度靶材在室溫條件下玻璃襯底上RF磁控濺射制備鋁摻雜氧化鋅(AZO)薄膜。用X射線衍射儀、冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡、紫外可見光分光光度計(jì)、四探針測(cè)試儀和霍爾測(cè)試儀分析表征薄膜的顯微組織、表面形貌和光電學(xué)性能。結(jié)果表明,所制備的薄膜均為多晶六方纖鋅礦結(jié)構(gòu),濺射功率對(duì)AZO薄膜的光電學(xué)性能,尤其是電學(xué)性能有重要影響。不同濺射功率下薄膜可見光平均透過率均大于85%,當(dāng)濺射功率為200 W時(shí),獲得最小電阻率4.5×10~(-4)?·cm和87.1%的透過率。AZO薄膜禁帶寬度隨濺射功率不同在3.48~3.68 e V范圍內(nèi)變化。
【作者單位】： 三峽大學(xué)材料與化工學(xué)院;桂林理工大學(xué)廣西新能源與建筑節(jié)能重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： AZO薄膜 顯微組織 光電學(xué)性能 RF磁控濺射
【基金】：supported by open research fund from Guangxi Key Laboratory of New Energy and Building Energy Saving, China
【分類號(hào)】：TN304.055
【正文快照】： 1 Introduction The transparent conducting oxide(TCO)thin films are widely used in a variety of promising applications,such as flat-panel displays,organic light-emitting devices and solar cells,due to their excellent photoelectric properties.The typical

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前6條

1 葛春橋;;摻雜濃度對(duì)AZO薄膜結(jié)構(gòu)和光電性能的影響[J];壓電與聲光;2005年06期

2 李麗;劉素芳;江莎;劉子貽;;AZO薄膜的光學(xué)性質(zhì)研究[J];重慶郵電大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2009年06期

3 張亞萍;李啟甲;;摻鋁氧化鋅(AZO)導(dǎo)電薄膜的研究進(jìn)展[J];現(xiàn)代顯示;2006年03期

4 林算治;林麗梅;林建平;瞿燕;賴發(fā)春;;AZO種子層朝向?qū)nO納米棒形貌和發(fā)光特性的影響[J];光電子.激光;2012年06期

5 齊東麗;馬學(xué)軍;;透明導(dǎo)電氧化物AZO薄膜的制備與性能研究[J];電腦知識(shí)與技術(shù);2014年09期

6 ;[J];;年期

中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前3條

1 李澤斌;吳忠航;居家奇;何孔多;區(qū)瓊榮;梁榮慶;;利用等離子體浸沒離子注入技術(shù)對(duì)AZO薄膜表面改性的研究[A];第十六屆全國(guó)等離子體科學(xué)技術(shù)會(huì)議暨第一屆全國(guó)等離子體醫(yī)學(xué)研討會(huì)會(huì)議摘要集[C];2013年

2 林軍;張維佳;楊東杰;Jean Jacques HAVUGIMANA;孫月峰;劉嘉;馬強(qiáng);;高品質(zhì)AZO制備及其在硅基薄膜太陽(yáng)電池中的應(yīng)用[A];2011中國(guó)功能材料科技與產(chǎn)業(yè)高層論壇論文集（第二卷）[C];2011年

3 支安博;秦福文;白亦真;;AZO薄膜作緩沖層對(duì)InN低溫沉積的影響[A];2011中國(guó)材料研討會(huì)論文摘要集[C];2011年

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前7條

1 吳齊;AZO種子層和銀摻雜對(duì)水熱法生長(zhǎng)氧化鋅納米棒的影響[D];遼寧師范大學(xué);2015年

2 夏志林;電子束蒸發(fā)制備AZO薄膜的光電性能研究[D];武漢理工大學(xué);2004年

3 薛進(jìn)奎;AZO薄膜表面織構(gòu)機(jī)理和表面織構(gòu)均勻性的研究[D];鄭州大學(xué);2011年

4 劉榮斌;基于AZO薄膜的氣體傳感器的制備及其性質(zhì)研究[D];天津理工大學(xué);2014年

5 馮嘉恒;原子層沉積AZO薄膜及晶硅表面鈍化研究[D];遼寧工業(yè)大學(xué);2015年

6 常溪;AZO納米纖維的電紡絲法制備工藝研究[D];石家莊鐵道大學(xué);2014年

7 周辰;AZO薄膜的制備及其在太陽(yáng)能電池中的應(yīng)用研究[D];清華大學(xué);2014年

，

本文編號(hào)：605444