本文關(guān)鍵詞：石墨襯底上多晶硅厚膜的生長(zhǎng)及性質(zhì)分析

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【摘要】：以石墨片為襯底,利用磁控濺射技術(shù)生長(zhǎng)多晶硅籽晶層,退火處理后用CVD制備多晶硅厚膜。XRD測(cè)試結(jié)果表明,在籽晶層上外延多晶硅厚膜具有高度的(220)取向,這說(shuō)明外延層的擇優(yōu)取向延續(xù)了籽晶層的取向。SEM測(cè)試結(jié)果表明,石墨片上多晶硅外延層生長(zhǎng)良好,說(shuō)明石墨片作為廉價(jià)襯底之一,有望投入工業(yè)化生產(chǎn),以降低太陽(yáng)能電池的制作成本。
【作者單位】： 華北電力大學(xué)新能源電力國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;常州英諾能源技術(shù)有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 石墨 籽晶層 擇優(yōu)取向 退火
【基金】：北京市自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(2151004) 中央高�；究蒲袠I(yè)務(wù)費(fèi)專(zhuān)項(xiàng)資金資助項(xiàng)目(13ZD05)
【分類(lèi)號(hào)】：TN304.12
【正文快照】： 0引言為了應(yīng)對(duì)傳統(tǒng)能源短缺和環(huán)境惡化等問(wèn)題,人們?cè)絹?lái)越重視可再生能源的研究和發(fā)展[1]。太陽(yáng)能作為新能源的一種,以其取之不盡用之不竭且使用過(guò)程中不會(huì)污染環(huán)境為優(yōu)點(diǎn),近年來(lái)得到了迅猛的發(fā)展[2]。目前,光伏的研究重點(diǎn)是研制出成本低廉、性能穩(wěn)定并且高效率的太陽(yáng)能電池[3]

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1 楊天穎;氧化石墨改性親水膜材的制備及其性能研究[D];南京理工大學(xué);2010年

2 房海秋;石墨烯基材料在染料敏化太陽(yáng)能電池中的應(yīng)用[D];大連理工大學(xué);2014年

3 周海燕;石墨烯基納米復(fù)合薄膜電極材料制備及其電容性質(zhì)研究[D];陜西師范大學(xué);2015年

4 王珊珊;納米石墨片在液相介質(zhì)中的分散及機(jī)理研究[D];哈爾濱工程大學(xué);2008年

5 張少君;散熱器用石墨基復(fù)合材料的研究[D];華中科技大學(xué);2009年

6 王甜甜;聚合物/納米石墨片復(fù)合材料的制備與電學(xué)性能研究[D];內(nèi)蒙古科技大學(xué);2012年

7 朱景輝;納米石墨片的制備及其在鋰-硫電池中的應(yīng)用研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2015年

8 王亞飛;石墨/聚苯乙烯懸浮聚合工藝研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2015年

9 張琪瑛;氫化和氟化石墨烯材料的第一性原理研究[D];煙臺(tái)大學(xué);2012年

10 朱衛(wèi)娟;碳納米管/石墨片與其它納米結(jié)構(gòu)的相互作用[D];南京航空航天大學(xué);2008年

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本文編號(hào)：591987