本文關(guān)鍵詞：石墨襯底上多晶硅厚膜的生長及性質(zhì)分析

  更多相關(guān)文章： 石墨 籽晶層 擇優(yōu)取向 退火

【摘要】：以石墨片為襯底,利用磁控濺射技術(shù)生長多晶硅籽晶層,退火處理后用CVD制備多晶硅厚膜。XRD測試結(jié)果表明,在籽晶層上外延多晶硅厚膜具有高度的(220)取向,這說明外延層的擇優(yōu)取向延續(xù)了籽晶層的取向。SEM測試結(jié)果表明,石墨片上多晶硅外延層生長良好,說明石墨片作為廉價襯底之一,有望投入工業(yè)化生產(chǎn),以降低太陽能電池的制作成本。
【作者單位】： 華北電力大學新能源電力國家重點實驗室;常州英諾能源技術(shù)有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 石墨 籽晶層 擇優(yōu)取向 退火
【基金】：北京市自然科學基金資助項目(2151004) 中央高校基本科研業(yè)務費專項資金資助項目(13ZD05)
【分類號】：TN304.12
【正文快照】： 0引言為了應對傳統(tǒng)能源短缺和環(huán)境惡化等問題,人們越來越重視可再生能源的研究和發(fā)展[1]。太陽能作為新能源的一種,以其取之不盡用之不竭且使用過程中不會污染環(huán)境為優(yōu)點,近年來得到了迅猛的發(fā)展[2]。目前,光伏的研究重點是研制出成本低廉、性能穩(wěn)定并且高效率的太陽能電池[3]

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 張友生,閆允杰,朱靜;兩種納米級針尖的制作和應用[J];電子顯微學報;2004年04期

2 ;[J];;年期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 劉衛(wèi)華;黨濤;朱長純;;多皺紋納米石墨片的制備及其工藝研究[A];第十五屆全國化合物半導體材料，微波器件和光電器件學術(shù)會議論文集[C];2008年

中國重要報紙全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 記者 錢怡;蘇州專家出世界首幅石墨碎片“光譜圖”[N];蘇州日報;2010年

2 ;相關(guān)上市公司分析[N];證券時報;2000年

中國碩士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 楊天穎;氧化石墨改性親水膜材的制備及其性能研究[D];南京理工大學;2010年

2 房海秋;石墨烯基材料在染料敏化太陽能電池中的應用[D];大連理工大學;2014年

3 周海燕;石墨烯基納米復合薄膜電極材料制備及其電容性質(zhì)研究[D];陜西師范大學;2015年

4 王珊珊;納米石墨片在液相介質(zhì)中的分散及機理研究[D];哈爾濱工程大學;2008年

5 張少君;散熱器用石墨基復合材料的研究[D];華中科技大學;2009年

6 王甜甜;聚合物/納米石墨片復合材料的制備與電學性能研究[D];內(nèi)蒙古科技大學;2012年

7 朱景輝;納米石墨片的制備及其在鋰-硫電池中的應用研究[D];哈爾濱工業(yè)大學;2015年

8 王亞飛;石墨/聚苯乙烯懸浮聚合工藝研究[D];哈爾濱工業(yè)大學;2015年

9 張琪瑛;氫化和氟化石墨烯材料的第一性原理研究[D];煙臺大學;2012年

10 朱衛(wèi)娟;碳納米管/石墨片與其它納米結(jié)構(gòu)的相互作用[D];南京航空航天大學;2008年

，

本文編號：591987