本文關(guān)鍵詞：磁控濺射ZnO薄膜及其微觀結(jié)構(gòu)與光電特性

  更多相關(guān)文章： ZnO薄膜 濺射氣壓 微觀結(jié)構(gòu) 透過率 方阻

【摘要】：為了研究氧氣與氬氣的比例和濺射氣壓對Zn O薄膜的微觀結(jié)構(gòu)及光電特性的影響,在氧化銦錫(ITO)玻璃上采用射頻感應(yīng)耦合離子源增強磁控濺射方法鍍上具有一定c軸擇優(yōu)取向的Zn O薄膜,用X射線衍射儀(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)、四探針測試儀、紫外可見分光光度計表征薄膜微觀結(jié)構(gòu)與光電特性。結(jié)果表明隨著氧分壓的增加,薄膜表面的平整度先增加后減小,沿(002)方向生長的Zn O薄膜結(jié)晶度、晶粒尺寸先增加后減小,方阻先減小后增大,晶粒尺寸、方阻等值在O2和Ar的體積流量比為15∶60時達到極值。實驗中改變?yōu)R射時的氣壓值,發(fā)現(xiàn)較大的濺射氣壓有利于磁控濺射的進行,有利于獲得純凈的Zn O薄膜,在可見光范圍內(nèi)有的樣品平均透過率超過90%。
【作者單位】： 華南師范大學(xué)物理與電信工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： ZnO薄膜 濺射氣壓 微觀結(jié)構(gòu) 透過率 方阻
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項目(61072028) 廣東省自然科學(xué)基金資助項目(S2013010012548)
【分類號】：TN304.21
【正文快照】： 0引言透明導(dǎo)電薄膜在太陽電池、低波長激光器、光纖通信等許多領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用[1]。Zn O在自然界中儲量豐富,具有較好的化學(xué)、機械穩(wěn)定性,以及優(yōu)異的光電特性,因此Zn O薄膜成為了透明導(dǎo)電薄膜的研究熱點。低電阻率的Zn O薄膜甚至可以取代傳統(tǒng)的透明導(dǎo)電ITO薄膜而成為太陽電

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本文編號：585009