本文關(guān)鍵詞：基于激光掃描法的非接觸式光學(xué)元件曲率半徑測量系統(tǒng)

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【摘要】：介紹了基于激光掃描法的非接觸式光學(xué)元件曲率半徑檢測系統(tǒng),該系統(tǒng)大大提高了光學(xué)元件粗磨后曲率半徑檢測的自動化程度,實現(xiàn)了軟硬件結(jié)合的一鍵式面形數(shù)據(jù)獲取。該系統(tǒng)利用x/y軸二維平移臺的運(yùn)動實現(xiàn)網(wǎng)格掃描,同時基于激光掃描法測量面形弧高,并附加有z軸升降臺擴(kuò)展弧高量程。設(shè)計了上位機(jī)控制程序和人機(jī)交互界面,使系統(tǒng)在后期使用中更為靈活便捷。編寫了曲面擬合算法,最終實現(xiàn)光學(xué)元件面形數(shù)據(jù)的自動采集、擬合以及相關(guān)光學(xué)參數(shù)的計算,可完成對多種光學(xué)元件面形的非接觸式檢測。實驗結(jié)果表明,無論待測光學(xué)元件的表面落差是否超出激光頭測量范圍,系統(tǒng)均能完整采集所需面形數(shù)據(jù),經(jīng)過誤差處理后,測量精度優(yōu)于±0.15%,滿足粗磨檢測要求。
【作者單位】： 中國科學(xué)院云南天文臺云南省應(yīng)用天文技術(shù)工程實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 測量 面形檢測 激光掃描法 光學(xué)元件 自動化 曲面擬合
【分類號】：TN249;TH74
【正文快照】： 常用的光學(xué)面形檢測方法分為接觸式檢測和非接觸式檢測兩大類。接觸式檢測中最常見的檢測方法是091203-1三坐標(biāo)測量法,在此方法的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的輪廓儀,其基本原理與三坐標(biāo)測量機(jī)類似,可以認(rèn)為是針對光學(xué)元件測量專門開發(fā)的一類三坐標(biāo)測量設(shè)備。例如,英國Form Talysurf PGI ，

本文編號：579238