本文關(guān)鍵詞：脈沖光纖激光控制斷裂切割超薄鈦酸鍶陶瓷基片

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【摘要】：鈦酸鍶陶瓷是軟脆難加工的材料,機(jī)械加工容易導(dǎo)致表面產(chǎn)生劃痕和破裂。采用主控振蕩器的功率放大器(MOPA)脈沖光纖激光控制斷裂切割鈦酸鍶陶瓷基片,通過實(shí)驗(yàn)得到了激光控制切割機(jī)理。首先用激光掃描去除材料,形成應(yīng)力槽;隨著掃描次數(shù)的增加,切槽深度增加;熱應(yīng)力達(dá)到該材料的斷裂閾值,使裂紋沿應(yīng)力槽擴(kuò)展,直至完全斷裂。該過程屬于自適應(yīng)裂片,無需后續(xù)裂片工藝。此外還發(fā)現(xiàn)在激光燒蝕材料過程中出現(xiàn)表面平坦化現(xiàn)象。通過選擇合適的工藝參數(shù),可以實(shí)現(xiàn)0.3mm厚鈦酸鍶陶瓷基片的成形切割。
【作者單位】： 廣東工業(yè)大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 激光技術(shù) 激光控制斷裂切割 光纖激光器 軟脆材料 鈦酸鍶陶瓷
【基金】：國家自然科學(xué)基金(51575114;51275096) 廣東省自然科學(xué)基金(S2013010014070) 廣東省普通高校特色創(chuàng)新項(xiàng)目(2014KTSCX059)
【分類號】：TN249
【正文快照】： 1引言作為一種新型多功能電子陶瓷材料,鈦酸鍶陶瓷具有介電常數(shù)大、介電損耗低、熱穩(wěn)定性好、電絕緣性能好、禁帶寬度大等優(yōu)點(diǎn),同時又具有優(yōu)良的光催化活性、微波特性和溫度穩(wěn)定性[1-3]。鈦酸鍶陶瓷作為微電子元件的襯底被廣泛地應(yīng)用在電子、通訊、自動控制等領(lǐng)域[4]。然而,鈦

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前8條

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中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前2條

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本文編號：552187