本文關(guān)鍵詞：微納加工技術(shù)的優(yōu)勢(shì)及其在電子器件領(lǐng)域中的應(yīng)用研究

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【摘要】：微納加工技術(shù)在集成電路技術(shù)的應(yīng)用中占據(jù)著重要的地位,為了滿(mǎn)足相關(guān)工業(yè)領(lǐng)域的要求,需要尋找出新透鏡、短光源、高精度的加工技術(shù),而微納加工技術(shù)就是其中的首選。本文主要針對(duì)微納加工技術(shù)在微納電子器件領(lǐng)域的應(yīng)用進(jìn)行分析。
【作者單位】： 湖南省長(zhǎng)沙市長(zhǎng)郡中學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 微納加工技術(shù) 優(yōu)勢(shì) 電子器件領(lǐng)域 應(yīng)用
【分類(lèi)號(hào)】：TN405
【正文快照】： 微納加工技術(shù)的出現(xiàn)使得集成電路的體積逐漸減小,集成度也越來(lái)越高,目前,應(yīng)用最廣泛的微納加工技術(shù)是光學(xué)光刻技術(shù),但它的替代技術(shù)也有許多,如電子束曝光、極紫外光刻等等。長(zhǎng)期以來(lái),曝光技術(shù)都是影響半導(dǎo)體制造工業(yè)發(fā)展的一項(xiàng)核心技術(shù),作為半導(dǎo)體指導(dǎo)技術(shù)的核心,曝光技術(shù)是制

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