本文關鍵詞：高功率半導體激光器陶瓷封裝散熱性能研究

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【摘要】：為實現(xiàn)半導體激光器單管的高功率輸出,研究了使用氮化鋁和碳化硅兩種陶瓷材料制成的三明治型過渡熱沉的散熱性能。首先使用有限元分析方法計算,然后利用光譜法測量激光器的工作熱阻。數(shù)值計算和實驗測量結(jié)果均顯示,碳化硅制成的過渡熱沉所封裝器件的工作熱阻更低,散熱效果更好。此外,實驗進一步測試了器件的光電特性,結(jié)果表明碳化硅陶瓷制成的過渡熱沉封裝器件的電光轉(zhuǎn)換效率更高、輸出功率更大。915 nm附近單管器件在注入電流15 A時的輸出功率為16.3 W,最高電光轉(zhuǎn)換效率達到了68.3%。
【作者單位】： 中國科學院半導體研究所光電子器件國家工程研究中心;
【關鍵詞】： 高功率半導體激光器 有限元分析 熱阻
【基金】：國家自然科學基金(61306057)資助項目
【分類號】：TN248.4
【正文快照】： 1引言過去的幾十年中,高功率半導體激光器廣泛用于泵浦固態(tài)激光和光纖激光,隨著輸出特性和可靠性的持續(xù)提高,其應用領域拓展到工業(yè)、軍事、醫(yī)學和直接材料加工等領域。在應用需求的驅(qū)動下,半導體激光器的輸出功率水平不斷達到新的高度,目前國際上90~100μm單管9××nm器件商用

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本文編號：543182