本文關鍵詞：柔性PET襯底上ZnO薄膜的制備、電學性質(zhì)及激光輻照效應

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【摘要】：室溫下采用中頻反應磁控濺射技術在柔性PET(Polyethylene terephthalate)襯底上沉積了ZnO薄膜。研究了濺射功率和氬氧流量比對薄膜電學性質(zhì)的影響,獲得室溫沉積柔性ZnO薄膜的優(yōu)化工藝條件為濺射功率20 W和氬氧流量比1:1。采用不同能量密度的激光輻照,有效改善了柔性ZnO薄膜的晶體結構和電學性能。原子力顯微鏡(AFM)和X射線衍射(XRD)測試結果顯示,激光輻照可使薄膜表面ZnO顆粒產(chǎn)生團聚融合,并在(100)和(101)晶面上產(chǎn)生明顯的取向生長,薄膜由非晶轉為多晶結構。Hall性質(zhì)的研究結果表明,激光輻照可有效提高ZnO薄膜的載流子濃度,降低電阻率,改善室溫沉積柔性ZnO薄膜導電性能。
【作者單位】： 華東理工大學物理系;
【關鍵詞】： ZnO薄膜 柔性PET襯底 激光輻照 電學性質(zhì) 微觀結構
【分類號】：O484;TN304.21
【正文快照】： ZnO作為一種常用的功能性材料,因其原料豐富、廉價、無毒且化學穩(wěn)定性高而被廣泛應用于各種半導體器件的制作。隨著在硬質(zhì)基底上沉積技 術的成熟,新型柔性半導體薄膜器件逐漸成為人們關注的焦點。在有機柔性襯底上沉積的ZnO基薄膜具有重量輕、可彎曲、耐沖擊和可大面積生產(chǎn)等

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