本文關(guān)鍵詞：248nm準(zhǔn)分子激光加工玻璃微通道的實驗研究

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【摘要】：為了提高玻璃微通道的加工效率及質(zhì)量,采用248nm準(zhǔn)分子激光加工玻璃微通道的新型加工方法進行了理論分析和實驗驗證,取得了不同激光參量下玻璃微通道的加工工藝數(shù)據(jù)。結(jié)果表明,激光加工玻璃微通道的刻蝕閾值為4.54×103m J/mm2;隨著激光能量的增加,刻蝕深度近似成對數(shù)增長,經(jīng)線性擬合得到刻蝕深度隨激光能量變化的公式;隨著脈沖頻率的增加,刻蝕深度近似成線性增長,經(jīng)線性擬合得到刻蝕深度隨頻率變化的公式;且通道底面粗糙度隨激光能量及脈沖頻率的增加,呈增長趨勢;激光的能量在400m J~600m J、脈沖頻率在4Hz~7Hz范圍的組合激光參量可實現(xiàn)刻蝕率高、粗糙度小的微通道加工。這些結(jié)果對于合理選擇激光參量、提高玻璃微通道的加工效率及質(zhì)量是有幫助的。
【作者單位】： 北京工業(yè)大學(xué)激光工程研究院;
【關(guān)鍵詞】： 激光技術(shù) 玻璃微通道 nm激光 激光參量 刻蝕效率 刻蝕質(zhì)量
【基金】：北京市自然科學(xué)基金資助項目(4132017) 科技部國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項資助項目(2011YQ030112)
【分類號】：TQ171.6;TN249
【正文快照】： 引言微通道是微納米技術(shù)的研究重點,它廣泛應(yīng)用于血液分析、DNA分析、化學(xué)分析[1-4]等多個方面。目前微通道材料主要有玻璃、硅及其氧化物、聚合物等3種類型,其中玻璃具有較好的機械強度、散熱性、電滲性和透光性,且制造成本低廉,可進行批量化生產(chǎn),在微通道制作中應(yīng)用廣泛。玻

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1 李志華;林建忠;;S形微通道流場的混合特性研究[J];科技通報;2009年05期

2 高楊;白竹川;劉婷婷;袁明權(quán);;微通道尺寸對開通道電滲泵性能的影響[J];微納電子技術(shù);2010年11期

3 王琳琳;胡洪萍;;錯流接觸T型微通道內(nèi)兩相流動數(shù)值模擬[J];西安文理學(xué)院學(xué)報(自然科學(xué)版);2013年02期

4 王琳琳;胡洪萍;;濕壁面條件下T型微通道內(nèi)兩相流數(shù)值模擬[J];西南師范大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版);2013年10期

5 靳遵龍;張志超;陳曉堂;王永慶;劉敏珊;;微通道散熱器新型通道設(shè)計及性能分析[J];低溫與超導(dǎo);2013年12期

6 何穎;邵寶東;程赫明;;矩形微通道散熱器流道的數(shù)值模擬及尺寸優(yōu)化[J];應(yīng)用數(shù)學(xué)和力學(xué);2014年03期

7 陳德良;馮彩玲;秦水介;;石英微通道內(nèi)測量細胞表面電荷的研究[J];激光技術(shù);2009年06期

8 周萍;陳卓;徐則林;莫景文;;玻璃質(zhì)微通道流動阻力特性的數(shù)值模擬[J];中南大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版);2012年06期

9 石慧霞;王企鯤;;微通道中顆粒慣性聚集特性的數(shù)值研究[J];上海理工大學(xué)學(xué)報;2013年04期

10 張凱;林建忠;李志華;;電滲驅(qū)動微通道流中的擴散[J];應(yīng)用數(shù)學(xué)和力學(xué);2006年05期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 史東山;李錦輝;劉趙淼;;關(guān)于微通道相關(guān)問題研究方法現(xiàn)狀分析[A];北京力學(xué)會第18屆學(xué)術(shù)年會論文集[C];2012年

2 逄燕;劉趙淼;;溫黏關(guān)系對微通道內(nèi)液體流動和傳熱性能的影響[A];北京力學(xué)會第18屆學(xué)術(shù)年會論文集[C];2012年

3 范國軍;逄燕;劉趙淼;;微通道中液體流動和傳熱特性的影響因素概述[A];北京力學(xué)會第18屆學(xué)術(shù)年會論文集[C];2012年

4 劉麗昆;逄燕;劉趙淼;;幾何參數(shù)對微通道液體流動和傳熱性能影響的研究[A];北京力學(xué)會第18屆學(xué)術(shù)年會論文集[C];2012年

5 劉麗昆;劉趙淼;申峰;;幾何參數(shù)對微通道黏性耗散影響的研究[A];北京力學(xué)會第19屆學(xué)術(shù)年會論文集[C];2013年

6 肖鵬;申峰;劉趙淼;;微通道中矩形微凹槽內(nèi)流場的數(shù)值模擬[A];北京力學(xué)會第19屆學(xué)術(shù)年會論文集[C];2013年

7 肖鵬;申峰;劉趙淼;李易;;凹槽微通道流場的三維數(shù)值模擬[A];北京力學(xué)會第20屆學(xué)術(shù)年會論文集[C];2014年

8 周繼軍;劉睿;張政;廖文裕;佘漢佃;;微通道傳熱中的兩相間歇流[A];上海市制冷學(xué)會2011年學(xué)術(shù)年會論文集[C];2011年

9 夏國棟;柴磊;周明正;楊瑞波;;周期性變截面微通道內(nèi)液體流動與傳熱的數(shù)值模擬研究[A];中國力學(xué)學(xué)會學(xué)術(shù)大會'2009論文摘要集[C];2009年

10 婁文忠;Herbert Reichel;;硅微通道致冷系統(tǒng)設(shè)計與仿真研究[A];科技、工程與經(jīng)濟社會協(xié)調(diào)發(fā)展——中國科協(xié)第五屆青年學(xué)術(shù)年會論文集[C];2004年

中國重要報紙全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 本報記者 陳杰;空調(diào)將進入微通道時代[N];科技日報;2008年

2 張亮;美海軍成功為未來武器研制微型散熱器[N];科技日報;2005年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 任滔;微通道換熱器傳熱和制冷劑分配特性的數(shù)值模擬和實驗驗證[D];上海交通大學(xué);2014年

2 翟玉玲;復(fù)雜結(jié)構(gòu)微通道熱沉流動可視化及傳熱過程熱力學(xué)分析[D];北京工業(yè)大學(xué);2015年

3 楊珊珊;粗糙微通道流體流動特性的分形分析[D];華中科技大學(xué);2015年

4 伍根生;基于納米結(jié)構(gòu)的氣液相變傳熱強化研究[D];東南大學(xué);2015年

5 盧玉濤;微通道內(nèi)氣—液兩相分散與傳質(zhì)的研究[D];天津大學(xué);2014年

6 趙亮;電動效應(yīng)作用下微通道內(nèi)液體流動特性[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2009年

7 李志華;微通道流場混合與分離特性的研究[D];浙江大學(xué);2008年

8 季喜燕;微通道內(nèi)氣液兩相流動及傳質(zhì)過程研究[D];天津大學(xué);2011年

9 賀占蜀;交錯互通微通道多孔網(wǎng)格板制造及其強化傳熱研究[D];華南理工大學(xué);2011年

10 范曉光;微通道內(nèi)蒸汽及混合蒸氣冷凝流動與傳熱[D];大連理工大學(xué);2012年

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1 程天琦;新型分合式微通道混合性能的研究[D];西北大學(xué);2015年

2 何穎;三角形截面微通道中流體的流動和換熱特性的理論研究和結(jié)構(gòu)優(yōu)化[D];昆明理工大學(xué);2015年

3 劉雅鵬;垂直磁場作用下平行板微通道內(nèi)Maxwell流體的周期電滲流[D];內(nèi)蒙古大學(xué);2015年

4 吳媛媛;制冷壓縮冷凝機組中微通道換熱器的研究[D];南京理工大學(xué);2015年

5 馬曉雯;硅基底表面特性對微通道界面滑移的影響[D];大連海事大學(xué);2015年

6 張志強;微通道蒸發(fā)器表面結(jié)露工況下性能研究[D];天津商業(yè)大學(xué);2015年

7 毛航;二氧化碳微通道氣冷器優(yōu)化設(shè)計及分子動力學(xué)模擬[D];鄭州大學(xué);2015年

8 崔振東;微通道內(nèi)空化流動傳熱的Lattice Boltzmann模擬[D];中國科學(xué)院研究生院(工程熱物理研究所);2015年

9 邱德來;疏水性對微通道流動與換熱的影響[D];南京師范大學(xué);2015年

10 張蒙蒙;二氧化碳微通道平行流氣冷器流量分配特性研究[D];鄭州大學(xué);2015年

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