本文關(guān)鍵詞：硅基超疏水跨尺度微納結(jié)構(gòu)的制備，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：提出了一種可行的制備超疏水跨尺度微納結(jié)構(gòu)的方法,該方法基于衍射干涉光刻技術(shù),制備出擁有跨尺度的光刻膠結(jié)構(gòu)陣列。建立衍射干涉光刻模型,采用嚴(yán)格耦合波分析(RCWA)方法對衍射干涉形成的光強(qiáng)分布進(jìn)行理論分析;通過衍射干涉光刻技術(shù)制備出跨尺度微納光刻膠陣列。最后用ICP-Bosch干法刻蝕工藝,將跨尺度光刻膠結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移到硅基底上,制備出高深寬比硅管狀結(jié)構(gòu),其頂部是跨尺度微納錐形結(jié)構(gòu),利用接觸角測量儀對制備的樣品表面的浸潤性能進(jìn)行了測試,測試結(jié)果表明該跨尺度微納結(jié)構(gòu)達(dá)到超疏水性能。
【作者單位】： 九江學(xué)院機(jī)械與材料工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 衍射干涉 理論分析 跨尺度結(jié)構(gòu) ICP-Bosch工藝 超疏水性能
【基金】：江西省青年科學(xué)基金資助項目(20151BAB216019) 九江學(xué)院重點(diǎn)資助項目(2015LGZD04)
【分類號】：TN305.7
【正文快照】： 0引言近年來,超疏水表面潤濕性能引起了國內(nèi)外研究人員的普遍關(guān)注。超疏水表面,一般是指其與水的接觸角大于150°,滾動角小于10°。自然界中很多植物葉如荷葉和水稻葉等的表面,水滴落上其表面之后都會馬上滾落,且不留下痕跡,這就是所謂的“荷葉效應(yīng)”[1-3]。基于荷葉效應(yīng)制作

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本文編號：510164