本文關(guān)鍵詞：離線裝料技術(shù)在直拉法硅單晶生產(chǎn)中的應(yīng)用，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：直拉(CZ)單晶硅生長(zhǎng)爐是目前世界上最主要的單晶硅生產(chǎn)設(shè)備,但其傳統(tǒng)的裝料工序存在著耗時(shí)長(zhǎng)、成本高、安全系數(shù)低及產(chǎn)品質(zhì)量低等隱患。采用離線裝料技術(shù)可使產(chǎn)品合格率穩(wěn)定在81.4%以上,單爐生產(chǎn)周期縮短了1h左右,單爐每月產(chǎn)能增加15kg,同時(shí)人力成本也得到了相應(yīng)的控制,真正達(dá)到了降本增效的目的。
【作者單位】： 山西潞安太陽(yáng)能科技有限責(zé)任公司;
【關(guān)鍵詞】： 單晶硅 離線裝料 直拉法硅單晶 降本增效
【基金】：山西省科技創(chuàng)新計(jì)劃項(xiàng)目(2013101021)
【分類號(hào)】：TN304.12
【正文快照】： 引言直拉法(CZ)生產(chǎn)單晶硅是目前制備單晶硅的最主要方法。在單晶生產(chǎn)過(guò)程中,傳統(tǒng)裝料方法為爐前裝料,即,以人工方式在單晶爐前將固態(tài)多晶硅料一塊塊地從爐體外轉(zhuǎn)移到石英坩堝內(nèi),再進(jìn)行合爐、真空檢漏[1]。整個(gè)過(guò)程非常緩慢,而且裝料過(guò)程中要避免硅料碎屑落入熱場(chǎng)內(nèi),裝料時(shí)間(

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本文編號(hào)：490600