本文關(guān)鍵詞：MEMS在片測試系統(tǒng)電容參數(shù)校準技術(shù)研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：正一、引言MEMS晶圓片測試是MEMS傳感器產(chǎn)品整個工藝流程中必不可少的重要環(huán)節(jié),MEMS在片測試系統(tǒng)就是為適應晶圓片測試的特殊需求而專門配備的測試設備。該類設備的集成度和自動化程度高,能夠根據(jù)需要對晶圓片上的MEMS器件芯片進行多參數(shù)的檢測,測量準確度高。在片電容是MEMS晶圓片測試的核心參數(shù),其準確程度直接影響MEMS器件的質(zhì)量,因此保證在片電容參數(shù)校準的準確度至關(guān)重要。在片測試系統(tǒng)的電容參數(shù)技術(shù)指標如表1所示。
【作者單位】： 中國電子科技集團公司第十三研究所;
【關(guān)鍵詞】： 電容參數(shù);MEMS;測試系統(tǒng);圓片;核心參數(shù);測量準確度;傳感器產(chǎn)品;校準技術(shù);測試設備;技術(shù)指標;
【分類號】：TN307
【正文快照】： 一、引言 MEMS晶圓片測試是MEMS傳感器產(chǎn)品整個工藝流程中必不可少的重要環(huán)節(jié),MEMS在片測試系統(tǒng)就是為適應晶圓片測試的特殊需求而專門配備的測試設備。該類設備的集成度和自動化程度高,能夠根據(jù)需要對晶圓片上的MEMS器件芯片進行多參數(shù)的檢測,測量準確度高。在片電容是MEMS

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  本文關(guān)鍵詞：MEMS在片測試系統(tǒng)電容參數(shù)校準技術(shù)研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

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本文編號：489324