本文關鍵詞：基于MEMS技術的太赫茲可調波導帶阻濾波器，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：本文提出了一種基于雙層彎曲熱微執(zhí)行器的新穎的調諧方式,太赫茲帶阻濾波器采用波導加載金屬塊的形式。雙層彎曲熱微執(zhí)行器驅動金屬膜片移動,利用可動金屬膜片改變波導中加載金屬塊周圍的電磁場分布達到調諧的目的。設計了一款中心頻率為275.1 GHz的可調帶阻濾波器,仿真結果顯示,雙層彎曲熱微執(zhí)行器產生180μm位移時,濾波器實現(xiàn)了中心頻率23.2 GHz的調諧范圍,反射衰減由24.7 d B變化到15.9 d B。
【作者單位】： 電子科學大學極高頻復雜系統(tǒng)國防重點學科實驗室;
【關鍵詞】： 太赫茲波 Bimorph結構 微執(zhí)行器 帶阻濾波器
【分類號】：TN713.5
【正文快照】： 引言度的方式設計了一款中心頻率為15.6 GHz的可太赫茲波(THz)通常是指頻率范圍在調濾波器,實現(xiàn)了濾波器中心頻率調諧范圍為0.1~10THz的電磁輻射波,處于宏觀電磁理論向400 MHz。本文基于此執(zhí)行器設計了一款太赫茲微觀量子理論的過渡區(qū)域。太赫茲波具有頻帶寬、波導帶阻濾波器

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