本文關(guān)鍵詞：基于MEMS技術(shù)的太赫茲可調(diào)波導(dǎo)帶阻濾波器，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：本文提出了一種基于雙層彎曲熱微執(zhí)行器的新穎的調(diào)諧方式,太赫茲帶阻濾波器采用波導(dǎo)加載金屬塊的形式。雙層彎曲熱微執(zhí)行器驅(qū)動(dòng)金屬膜片移動(dòng),利用可動(dòng)金屬膜片改變波導(dǎo)中加載金屬塊周圍的電磁場(chǎng)分布達(dá)到調(diào)諧的目的。設(shè)計(jì)了一款中心頻率為275.1 GHz的可調(diào)帶阻濾波器,仿真結(jié)果顯示,雙層彎曲熱微執(zhí)行器產(chǎn)生180μm位移時(shí),濾波器實(shí)現(xiàn)了中心頻率23.2 GHz的調(diào)諧范圍,反射衰減由24.7 d B變化到15.9 d B。
【作者單位】： 電子科學(xué)大學(xué)極高頻復(fù)雜系統(tǒng)國(guó)防重點(diǎn)學(xué)科實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 太赫茲波 Bimorph結(jié)構(gòu) 微執(zhí)行器 帶阻濾波器
【分類號(hào)】：TN713.5
【正文快照】： 引言度的方式設(shè)計(jì)了一款中心頻率為15.6 GHz的可太赫茲波(THz)通常是指頻率范圍在調(diào)濾波器,實(shí)現(xiàn)了濾波器中心頻率調(diào)諧范圍為0.1~10THz的電磁輻射波,處于宏觀電磁理論向400 MHz。本文基于此執(zhí)行器設(shè)計(jì)了一款太赫茲微觀量子理論的過(guò)渡區(qū)域。太赫茲波具有頻帶寬、波導(dǎo)帶阻濾波器

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