本文關鍵詞：激光誘導擊穿光譜在薄膜損傷分析中的應用，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：提出了應用激光誘導擊穿光譜技術(shù)對薄膜損傷特性進行表征的方法,研究了納秒脈沖激光作用下薄膜損傷時的等離子體光譜特征,并應用該技術(shù)對薄膜的抗激光損傷特性進行了測量.實驗測得,HfO2單層膜在78mJ的激光能量的輻照下,薄膜損傷時的等離子體溫度為2 807.4K,且電子密度為7.4×1017cm-3.利用識別薄膜損傷時的等離子體光譜的特征,準確地判斷了薄膜是否損傷,避免了薄膜損傷的誤判現(xiàn)象.結(jié)果表明,激光誘導擊穿光譜技術(shù)適用于薄膜的激光損傷測試中,并且是一種非常有效的測試分析方法.
【作者單位】： 南京理工大學電子工程與光電技術(shù)學院;西安工業(yè)大學光電工程學院;
【關鍵詞】： 激光誘導擊穿光譜 薄膜 激光燒蝕 激光誘導損傷 等離子體 光譜分析 溫度
【基金】：國家自然科學基金(Nos.61378050,61205155) 科技部國際科技合作項目(No.2013DFR70620)資助~~
【分類號】：TN249;TB383.2
【正文快照】： 薄膜較易受到強激光的損傷而造成整個系統(tǒng)癱瘓,這0　引言已成為強激光發(fā)展的瓶頸之一[1].因此,對于薄膜激光光學元器件作為光學系統(tǒng)的核心部分,被廣泛地損傷的研究已成為人們關注的焦點.應用于激光武器、激光制導、激光打標、激光測距等眾近年來,對于薄膜的激光損傷研究主要集

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  本文關鍵詞：激光誘導擊穿光譜在薄膜損傷分析中的應用，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

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