發(fā)布時(shí)間：2017-06-24 11:15

  本文關(guān)鍵詞：一種基于聚焦離子束技術(shù)的環(huán)境透射電鏡光闌清理方法，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：光闌是透射電子顯微鏡電子光學(xué)系統(tǒng)的重要部件之一,其對(duì)透射電鏡的成像質(zhì)量有著重要的影響,然而原位環(huán)境透射電鏡由于在使用中經(jīng)常需要通入氣氛并配合加熱,因污染累積導(dǎo)致光闌的使用壽命大為降低。本文針對(duì)傳統(tǒng)真空高溫灼燒清理光闌方法需要較強(qiáng)的經(jīng)驗(yàn)性及成功率低的缺點(diǎn),提出一種新的光闌清理方法。該方法使用聚焦離子束(FIB)可定點(diǎn)、高效地清理光闌孔邊緣的各種污染物,在恢復(fù)光闌孔圓度的同時(shí)又不會(huì)對(duì)光闌的其他部分造成損傷而引起失效。最終測(cè)試結(jié)果表明清理后的光闌滿足透射電鏡的使用要求,因此這種基于FIB技術(shù)的加工手段為電鏡工作者提供了一種高效、精確和無損的光闌清理方法。
【作者單位】： 西安交通大學(xué)材料學(xué)院微納尺度材料行為研究中心;
【關(guān)鍵詞】： 光闌 聚焦離子束 清理 透射電子顯微鏡
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(No.51231005)
【分類號(hào)】：TN16
【正文快照】： 光闌是透射電鏡電子光學(xué)系統(tǒng)中的重要部件之一,其在電子光柱中連續(xù)受到高能電子束轟擊而沉積污染物,沉積污染物會(huì)使光闌邊緣偏離圓形,或邊緣的絕緣污染物造成荷電效果,對(duì)成像產(chǎn)生顯著影響。人們熟知的光闌包括聚光鏡光闌,物鏡光闌和選區(qū)光闌。物鏡光闌一般置于物鏡的后焦面上,

【相似文獻(xiàn)】

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  本文關(guān)鍵詞：一種基于聚焦離子束技術(shù)的環(huán)境透射電鏡光闌清理方法，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

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本文編號(hào)：478003