本文關鍵詞：有機薄膜晶體管氣體傳感器的研究進展，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：重點介紹了電子科技大學電子薄膜與集成器件國家重點實驗室在國家自然科學基金資助下開展的有機薄膜晶體管(OTFT)氣體傳感器方面的研究進展。制備了酞菁銅(CuPc)薄膜為有源層的底柵底接觸式結構的有機薄膜晶體管,對器件的制備工藝和結構參數(shù)進行了優(yōu)化,研究了其對H_2S氣體的敏感特性。同時制備了P3HT-ZnO納米棒的復合薄膜、P3HT單層薄膜、P3HT-MoS_2分層膜和復合膜的有機薄膜晶體管氣體傳感器,系統(tǒng)地分析了OTFT器件的電學性能和氣敏特性。
【作者單位】： 電子科技大學光電信息學院;電子科技大學電子薄膜與集成器件國家重點實驗室;
【關鍵詞】： 復合薄膜 氣體傳感器 分層薄膜 有機薄膜晶體管 PHT薄膜
【基金】：國家自然基金(61571097,61421002)
【分類號】：TP212;TN321.5
【正文快照】： 1947年12月,美國貝爾實驗室用元素鍺(Ge)發(fā)明了世界上第一個晶體管[1];1962年,文獻[2]首次提出了薄膜晶體管的概念,其結構很好地適用于低導電率的半導體材料,器件的源極和漏極直接與導電溝道形成歐姆接觸,是柵絕緣器件,并工作于積累模式[3]。有機薄膜晶體管(OTFT)是一種在傳統(tǒng)

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本文編號：464220