有機(jī)薄膜晶體管氣體傳感器的研究進(jìn)展
本文關(guān)鍵詞:有機(jī)薄膜晶體管氣體傳感器的研究進(jìn)展,由筆耕文化傳播整理發(fā)布。
【摘要】:重點(diǎn)介紹了電子科技大學(xué)電子薄膜與集成器件國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室在國(guó)家自然科學(xué)基金資助下開(kāi)展的有機(jī)薄膜晶體管(OTFT)氣體傳感器方面的研究進(jìn)展。制備了酞菁銅(CuPc)薄膜為有源層的底柵底接觸式結(jié)構(gòu)的有機(jī)薄膜晶體管,對(duì)器件的制備工藝和結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化,研究了其對(duì)H_2S氣體的敏感特性。同時(shí)制備了P3HT-ZnO納米棒的復(fù)合薄膜、P3HT單層薄膜、P3HT-MoS_2分層膜和復(fù)合膜的有機(jī)薄膜晶體管氣體傳感器,系統(tǒng)地分析了OTFT器件的電學(xué)性能和氣敏特性。
【作者單位】: 電子科技大學(xué)光電信息學(xué)院;電子科技大學(xué)電子薄膜與集成器件國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】: 復(fù)合薄膜 氣體傳感器 分層薄膜 有機(jī)薄膜晶體管 PHT薄膜
【基金】:國(guó)家自然基金(61571097,61421002)
【分類號(hào)】:TP212;TN321.5
【正文快照】: 1947年12月,美國(guó)貝爾實(shí)驗(yàn)室用元素鍺(Ge)發(fā)明了世界上第一個(gè)晶體管[1];1962年,文獻(xiàn)[2]首次提出了薄膜晶體管的概念,其結(jié)構(gòu)很好地適用于低導(dǎo)電率的半導(dǎo)體材料,器件的源極和漏極直接與導(dǎo)電溝道形成歐姆接觸,是柵絕緣器件,并工作于積累模式[3]。有機(jī)薄膜晶體管(OTFT)是一種在傳統(tǒng)
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