本文關(guān)鍵詞：半導(dǎo)體工藝實驗室的建設(shè)與管理實踐，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：以建設(shè)一條"硅工藝教學(xué)生產(chǎn)線"為目標,中山大學(xué)建立了半導(dǎo)體工藝實驗室。詳細介紹了實驗室的建設(shè)現(xiàn)狀,包括分區(qū)設(shè)置和儀器配備,結(jié)合微電子專業(yè)特點,開設(shè)了有關(guān)課程。從三方面詳細闡述了該實驗室的建設(shè)和管理實踐,分別是:建設(shè)規(guī)范化實驗室、建設(shè)安全實驗室和建設(shè)綠色實驗室,有利于實驗教學(xué)工作順利、有效和安全地進行。最后,提出三個需要解決的問題,包括師資隊伍的建設(shè)、實驗室建設(shè)工作計劃的完善和開放實驗室制度的建立。該實驗室的建設(shè),完善了微電子專業(yè)的實驗教學(xué),有利于提高學(xué)生的實踐能力和創(chuàng)新能力。
【作者單位】： 中山大學(xué)電子與信息工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 工藝實驗室 規(guī)范化 安全管理 綠色實驗室
【基金】：中山大學(xué)本科教學(xué)改革研究課題“集成電路制造工藝創(chuàng)新實驗對學(xué)生科研能力的培養(yǎng)”(項目編號:30000-16300008)
【分類號】：TN4-4;G647
【正文快照】： 以集成電路為核心的微電子產(chǎn)業(yè)是信息化帶動工業(yè)化、加快傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)優(yōu)化升級的關(guān)鍵技術(shù)和信息社會發(fā)展的基石,也是世界高科技競爭的制高點之一,在國民經(jīng)濟中占據(jù)著重要的地位[1]。其中集成電路產(chǎn)業(yè)是全球高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的前沿與核心,是最具活力和挑戰(zhàn)性的戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)。自2000年以

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