本文關(guān)鍵詞：對(duì)影響外延片表面質(zhì)量的若干問題的研究，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：外延片作為制造多種分立器件的必須材料,其地位已愈發(fā)重要。外延片的表面質(zhì)量對(duì)外延片整體質(zhì)量有很大影響。本文對(duì)在外延片生產(chǎn)中,影響外延片表面,引起外延生產(chǎn)大部分不合格率的顆粒、暗點(diǎn)、滑移線等主要問題進(jìn)行了研究,總結(jié)了批量生產(chǎn)中針對(duì)此類問題采取的預(yù)防改進(jìn)措施。關(guān)注產(chǎn)品表面質(zhì)量,減少或根除這些因素對(duì)外延片表面的影響,將對(duì)保證產(chǎn)品質(zhì)量、提升產(chǎn)品合格率起到積極作用。
【作者單位】： 中國電子科技集團(tuán)公司第四十六研究所;
【關(guān)鍵詞】： 半導(dǎo)體硅外延材料 表面質(zhì)量 顆粒 暗點(diǎn) 滑移線
【分類號(hào)】：TN304.054
【正文快照】： 外延片是制造多種分立器件的基礎(chǔ)材料,其地位愈來愈重要。它作為筆者部門科研及生產(chǎn)的主要產(chǎn)品,嚴(yán)格把控其各項(xiàng)參數(shù)指標(biāo)、表面質(zhì)量,不斷提升外延產(chǎn)品的質(zhì)量與合格率是我們的責(zé)任也是我們不變的目標(biāo)。目前我們的生產(chǎn)設(shè)備都是采用氣相沉積法[1]進(jìn)行外延生產(chǎn)。這種產(chǎn)品有其獨(dú)特的

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