本文關(guān)鍵詞：提取共面微波探針S參數(shù)的方法，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：共面微波探針是裸芯片測量信號輸入/輸出的重要媒介,通過與晶圓片物理接觸,建立起測量系統(tǒng)與芯片之間的信號連接通道。為了獲得共面微波探針完整準確的S參數(shù),設(shè)計并實現(xiàn)了"兩步法"測量方案,首先在同軸端口進行校準,然后在探針尖端口進行第二步校準。通過與出廠數(shù)據(jù)進行對比分析,證明了方案的可行性,同時指出在片校準件預(yù)校準的重要性。另外,討論了氧化鋁和砷化鎵兩種材料在片SOLT校準件對于探針S參數(shù)提取中的影響,實驗顯示二者相角偏差達到39.8°,回波損耗呈現(xiàn)規(guī)則性的變化,全部測量數(shù)據(jù)的頻段覆蓋1~40 GHz,最終給出了優(yōu)化的測量方案。
【作者單位】： 中國電子科技集團公司第十三研究所;南京電子技術(shù)研究所;
【關(guān)鍵詞】： 共面波導(dǎo) 微波探針 裸芯片 S參數(shù)
【分類號】：TN407
【正文快照】： 引言共面微波探針自上世紀80年代問世以來,逐漸成為了半導(dǎo)體共面集成電路和分立器件芯片在片(on-wafer)檢測技術(shù)的重要工具[1]。它的主要作用是將測量儀器(同軸接口)和半導(dǎo)體芯片相連,實現(xiàn)半導(dǎo)體芯片在解理、封裝前,直接測量芯片的高頻物理特性,達到晶圓片被測件優(yōu)化、篩選的

【相似文獻】

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1 王國全,馬振昌,王競,衣茂斌,田小建;GaAs高速電路在片瞬態(tài)測試技術(shù)研究[J];半導(dǎo)體情報;1999年05期

2 熊娟;顧豪爽;胡寬;吳小鵬;吳雯;;固態(tài)封裝型的體聲波諧振器的制備與性能分析[J];壓電與聲光;2009年05期

3 ;[J];;年期

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本文編號：433195