本文關(guān)鍵詞：提取共面微波探針S參數(shù)的方法，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：共面微波探針是裸芯片測(cè)量信號(hào)輸入/輸出的重要媒介,通過與晶圓片物理接觸,建立起測(cè)量系統(tǒng)與芯片之間的信號(hào)連接通道。為了獲得共面微波探針完整準(zhǔn)確的S參數(shù),設(shè)計(jì)并實(shí)現(xiàn)了"兩步法"測(cè)量方案,首先在同軸端口進(jìn)行校準(zhǔn),然后在探針尖端口進(jìn)行第二步校準(zhǔn)。通過與出廠數(shù)據(jù)進(jìn)行對(duì)比分析,證明了方案的可行性,同時(shí)指出在片校準(zhǔn)件預(yù)校準(zhǔn)的重要性。另外,討論了氧化鋁和砷化鎵兩種材料在片SOLT校準(zhǔn)件對(duì)于探針S參數(shù)提取中的影響,實(shí)驗(yàn)顯示二者相角偏差達(dá)到39.8°,回波損耗呈現(xiàn)規(guī)則性的變化,全部測(cè)量數(shù)據(jù)的頻段覆蓋1~40 GHz,最終給出了優(yōu)化的測(cè)量方案。
【作者單位】： 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所;南京電子技術(shù)研究所;
【關(guān)鍵詞】： 共面波導(dǎo) 微波探針 裸芯片 S參數(shù)
【分類號(hào)】：TN407
【正文快照】： 引言共面微波探針自上世紀(jì)80年代問世以來,逐漸成為了半導(dǎo)體共面集成電路和分立器件芯片在片(on-wafer)檢測(cè)技術(shù)的重要工具[1]。它的主要作用是將測(cè)量?jī)x器(同軸接口)和半導(dǎo)體芯片相連,實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體芯片在解理、封裝前,直接測(cè)量芯片的高頻物理特性,達(dá)到晶圓片被測(cè)件優(yōu)化、篩選的

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前3條

1 王國(guó)全,馬振昌,王競(jìng),衣茂斌,田小建;GaAs高速電路在片瞬態(tài)測(cè)試技術(shù)研究[J];半導(dǎo)體情報(bào);1999年05期

2 熊娟;顧豪爽;胡寬;吳小鵬;吳雯;;固態(tài)封裝型的體聲波諧振器的制備與性能分析[J];壓電與聲光;2009年05期

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本文編號(hào)：433195