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基于硅MEMS工藝的窄帶帶通濾波器的設(shè)計(jì)

發(fā)布時(shí)間:2017-06-07 20:07

  本文關(guān)鍵詞:基于硅MEMS工藝的窄帶帶通濾波器的設(shè)計(jì),由筆耕文化傳播整理發(fā)布。


【摘要】:微波帶通濾波器是微波通信系統(tǒng)中的關(guān)鍵器件。本文設(shè)計(jì)了一種利用硅MEMS腔體技術(shù)制作的微波窄帶帶通濾波器。采用交指結(jié)構(gòu)四分之一波長短路諧振器級(jí)聯(lián)結(jié)構(gòu),利用電磁場仿真設(shè)計(jì)軟件HFSS進(jìn)行了設(shè)計(jì)、建模、仿真和優(yōu)化,得到了一款具有小型化、高抑制度、低插損、好的電磁屏蔽且易于集成等優(yōu)點(diǎn)的硅MEMS腔體帶通濾波器。
【作者單位】: 電子科技大學(xué)電子工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】硅MEMS技術(shù) 窄帶 小型化 電磁屏蔽
【基金】:中央高校基本科研基金(A03011023801006002)
【分類號(hào)】:TN713.5
【正文快照】: 引言濾波器在射頻/微波系統(tǒng)中起著選頻濾波的重要作用。隨著現(xiàn)代無線通信的迅速發(fā)展,微波頻段作為一種信息資源被各種通信系統(tǒng)所分享利用,信道變得越來越擁擠,人們對(duì)具有小尺寸、重量輕、成本少、低損耗、多頻帶等優(yōu)良性能的微波濾波器的需求更加迫切,這種情勢不斷推動(dòng)著微波

【相似文獻(xiàn)】

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1 劉廣榮;;英飛凌推出采用MEMS工藝的微型硅基麥克風(fēng)[J];半導(dǎo)體信息;2007年02期

2 ;上海先進(jìn)國內(nèi)首條MEMS工藝實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)[J];電子元器件應(yīng)用;2011年10期

3 黃磊;陳四海;何少偉;史錫婷;李敏杰;李毅;易新建;;蒸發(fā)制備金屬薄膜實(shí)現(xiàn)MEMS工藝中電互連[J];半導(dǎo)體技術(shù);2005年12期

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5 楊劍;;MEMS工藝讓RF系統(tǒng)級(jí)芯片成為可能[J];電子與電腦;2007年04期

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8 ;[J];;年期

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本文編號(hào):430146

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