本文關(guān)鍵詞：噴墨打印制備高“高寬比”銀導(dǎo)線工藝，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：傳統(tǒng)絲網(wǎng)印刷技術(shù)因其接觸式印刷工藝難以提高金屬導(dǎo)線的精度和"高寬比",為實現(xiàn)高"高寬比"的金屬導(dǎo)線制造,以低黏度納米銀墨水為噴墨材料,采用自主研發(fā)的噴墨打印設(shè)備在多種基材表面打印銀導(dǎo)線.通過噴墨打印實驗方法研究了噴墨打印過程的"咖啡環(huán)"及"馬鞍型"缺陷產(chǎn)生原理及影響因素,通過在Teslin、Kapton、多晶硅硅片及高光相紙4種基材上多層打印及改變基板溫度制備銀導(dǎo)線,研究了銀導(dǎo)線"高寬比"及三維形貌的變化關(guān)系.實驗結(jié)果表明:基板溫度在60℃時,打印的銀導(dǎo)線呈"拱型";基板溫度在80℃時,打印的銀導(dǎo)線"高寬比"最佳且受基材影響減弱.打印層數(shù)為20層時,導(dǎo)線邊緣出現(xiàn)波浪紋;打印層數(shù)為80層時,波浪紋消失,導(dǎo)線形貌均勻.燒結(jié)溫度為200℃時,銀導(dǎo)線導(dǎo)電能力得到極大提升,Teslin基材形成的銀導(dǎo)線電阻率最低至2.13μΩ·cm.
【作者單位】： 中國科學(xué)院沈陽自動化研究所;中國科學(xué)院大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 噴墨打印 咖啡環(huán) 銀導(dǎo)線 高寬比
【基金】：國家“863”計劃資助項目(2014AA052102)
【分類號】：TN05
【正文快照】： 具有高精度和高導(dǎo)電性能的金屬圖案化結(jié)構(gòu)是多種電子器件不可或缺的重要組成部分[1],如太陽能電池柵極[2]、LED中的分流電路[3]、顯示器和觸摸屏中的驅(qū)動電路[4-5]以及無線射頻標(biāo)簽中的天線[6]等.盡管電子器件對于金屬圖案化的分辨率及拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)要求不同,但其對于金屬導(dǎo)線的線

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本文編號：428084