本文關(guān)鍵詞：LED晶圓貼片過(guò)程中壓力的二階段模糊決策與控制，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：針對(duì)LED晶圓貼片過(guò)程,設(shè)計(jì)一種利用閥門的開關(guān)和開度控制氣缸內(nèi)氣壓的壓力控制系統(tǒng),提出一種多目標(biāo)分階段決策和控制的方法,實(shí)現(xiàn)活塞運(yùn)動(dòng)和加壓控制.根據(jù)活塞的位移和壓力,采用邏輯決策方法,選擇需要控制的閥門.根據(jù)規(guī)劃壓力與實(shí)測(cè)壓力的差值及其差值變化率,利用模糊自適應(yīng)PID控制方法控制閥門的開度.采用半張量積的方法將邏輯決策和模糊控制中的推理轉(zhuǎn)變成矩陣形式,以簡(jiǎn)化運(yùn)算量,提高運(yùn)算速度和控制精確度.
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院自動(dòng)化研究所精密感知與控制研究中心;齊魯工業(yè)大學(xué)電氣工程與自動(dòng)化學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： LED晶圓貼片 模糊決策和控制 壓力控制 半張量積
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(61227804;61105036)
【分類號(hào)】：TN312.8
【正文快照】： 0引言對(duì)于LED芯片的生產(chǎn),人們對(duì)其精密性要求越來(lái)越高,這就需要提高LED晶圓表面的平整度、光滑度和潔凈度.化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)是目前最有效的晶圓平坦化技術(shù)[1-3].LED晶圓在拋光之前需要將LED晶圓片粘貼到一塊粘貼盤上,在LED晶圓粘貼過(guò)程中,為控制粘貼的質(zhì)量,需控制其加壓機(jī)構(gòu)

【參考文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 段培永;呂紅麗;馮俊娥;劉聰聰;李慧;;室內(nèi)熱舒適環(huán)境的模糊關(guān)系矩陣模型控制系統(tǒng)[J];控制理論與應(yīng)用;2013年02期

【共引文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前4條

1 葛愛(ài)冬;王玉振;魏愛(ài)榮;劉紅波;;多變量模糊系統(tǒng)控制設(shè)計(jì)及其在并行混合電動(dòng)汽車中的應(yīng)用(英文)[J];控制理論與應(yīng)用;2013年08期

2 李海濤;王玉振;;切換奇異布爾網(wǎng)絡(luò)的穩(wěn)定性分析(英文)[J];控制理論與應(yīng)用;2014年07期

3 呂紅麗;花曉慧;段培永;張淳軍;;基于室內(nèi)動(dòng)態(tài)熱舒適度的空調(diào)模糊控制[J];山東建筑大學(xué)學(xué)報(bào);2014年05期

4 徐美榮;王玉振;;Conflict-free著色問(wèn)題及其在頻率分配中的應(yīng)用[J];山東大學(xué)學(xué)報(bào)(工學(xué)版);2015年01期

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前3條

1 葛愛(ài)冬;基于矩陣半張量積方法的模糊系統(tǒng)分析與設(shè)計(jì)[D];山東大學(xué);2013年

2 李海濤;切換布爾網(wǎng)絡(luò)的分析、控制及應(yīng)用[D];山東大學(xué);2014年

3 劉振斌;基于矩陣半張量積方法的混合值邏輯網(wǎng)絡(luò)的控制與應(yīng)用[D];山東大學(xué);2014年

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 寧晨光;地源熱泵水系統(tǒng)的控制裝置開發(fā)[D];山東建筑大學(xué);2014年

【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前6條

1 ;An adaptive fuzzy design for fault-tolerant control of MIMO nonlinear uncertain systems[J];Journal of Control Theory and Applications;2011年02期

2 周平;柴天佑;;多變量解耦控制的工業(yè)過(guò)程運(yùn)行層次控制方法[J];控制理論與應(yīng)用;2011年02期

3 師五喜;;未知多變量非線性系統(tǒng)自適應(yīng)模糊預(yù)測(cè)控制[J];控制理論與應(yīng)用;2011年10期

4 朱康武;顧臨怡;;作業(yè)型遙控水下運(yùn)載器的多變量backstepping魯棒控制[J];控制理論與應(yīng)用;2011年10期

5 程代展;齊洪勝;趙寅;;布爾網(wǎng)絡(luò)的分析與控制—矩陣半張量積方法[J];自動(dòng)化學(xué)報(bào);2011年05期

6 李慧;張慶范;段培永;;基于用戶學(xué)習(xí)的智能動(dòng)態(tài)熱舒適控制系統(tǒng)[J];四川大學(xué)學(xué)報(bào)(工程科學(xué)版);2011年02期

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 史鴻釗;基于預(yù)測(cè)算法的室內(nèi)空氣調(diào)節(jié)[D];重慶大學(xué);2008年

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 謝瀚逸;;白光LED蓄勢(shì)待發(fā)、精彩可期[J];電子技術(shù);2007年06期

2 熊文軍;;戶外LED廣告投放探析[J];新聞愛(ài)好者;2010年24期

3 ;第二屆超高亮度發(fā)光二極管(LED)和半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)發(fā)展與應(yīng)用論壇征文啟事[J];液晶與顯示;2005年05期

4 方佩敏;;LED是怎樣發(fā)出白光的[J];電子制作;2006年10期

5 谷青;;將來(lái)白光LED可能會(huì)達(dá)到的水平[J];光源與照明;2007年01期

6 王德劉;傅仁利;何洪;宋秀峰;沈源;;白光LED用光轉(zhuǎn)換材料的研究與發(fā)展[J];材料導(dǎo)報(bào);2007年08期

7 ;白光LED專利網(wǎng)薄弱化引發(fā)市場(chǎng)混戰(zhàn)[J];電源世界;2007年04期

8 ;康佳LED:產(chǎn)業(yè)布局提速造百億增長(zhǎng)點(diǎn)[J];光機(jī)電信息;2008年12期

9 ;雷曼光電低衰減的白光LED給照明帶來(lái)無(wú)限生機(jī)[J];現(xiàn)代顯示;2008年Z1期

10 楊軍平;吳欣慧;秦長(zhǎng)海;;LED智能照明控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)[J];電子產(chǎn)品世界;2009年06期

中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 夏長(zhǎng)泰;;白光LED新型熒光襯底的探索與制備[A];第15屆全國(guó)晶體生長(zhǎng)與材料學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2009年

2 李勝利;蘇科;張麗;張弈;何柱國(guó);;音樂(lè)調(diào)制LED植物生長(zhǎng)器的研究[A];中國(guó)科協(xié)2005年學(xué)術(shù)年會(huì)生物物理與重大疾病分會(huì)論文摘要集[C];2005年

3 肖志國(guó);;白光LED用新型發(fā)光粉和芯片研究進(jìn)展[A];第11屆全國(guó)發(fā)光學(xué)學(xué)術(shù)會(huì)議論文摘要集[C];2007年

4 張繼輝;;淺談半導(dǎo)體發(fā)光二極管(LED)及其應(yīng)用[A];中國(guó)電子學(xué)會(huì)可靠性分會(huì)第十四屆學(xué)術(shù)年會(huì)論文選[C];2008年

5 彭萬(wàn)華;;超高亮度和白光LED在祖國(guó)大陸的現(xiàn)狀及發(fā)展[A];海峽兩岸第十屆照明科技與營(yíng)銷研討會(huì)專題報(bào)告文集[C];2003年

6 郭子菱;;LED特殊照明應(yīng)用——植物照明新商機(jī)[A];海峽兩岸第十七屆照明科技與營(yíng)銷研討會(huì)專題報(bào)告暨論文集[C];2010年

7 余仕文;;高性能q憊絳圓牧霞捌湓跇EDt氨Ｉ現(xiàn)產(chǎn)捎肹A];2010年海峽兩岸功能性復(fù)合材料論壇論文集[C];2010年

8 張萬(wàn)生;趙敏;;白光LED失效機(jī)理的研究[A];第二屆中國(guó)包頭·稀土產(chǎn)業(yè)論壇專家報(bào)告集[C];2010年

9 蔣吉強(qiáng);唐德良;李治強(qiáng);;影響白光LED衰減的關(guān)鍵因素研究[A];首屆珠中江科協(xié)論壇論文集[C];2011年

10 蔡明誠(chéng);;廣場(chǎng)、景觀、應(yīng)用LED新啟示[A];2007年中國(guó)（廈門）LED照明與裝飾論壇暨城市夜景建設(shè)研討會(huì)論文集[C];2007年

中國(guó)重要報(bào)紙全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 田鳳;LED廣告游船國(guó)慶亮相重慶兩江[N];中國(guó)旅游報(bào);2009年

2 本報(bào)記者 程久龍;“專利門”卡住中國(guó)LED 深圳企業(yè)抱團(tuán)出擊[N];21世紀(jì)經(jīng)濟(jì)報(bào)道;2010年

3 記者 郜天一;千元級(jí)LED電視“忽悠”消費(fèi)者[N];哈爾濱日?qǐng)?bào);2011年

4 工業(yè)和信息化部軟件與集成電路促進(jìn)中心 羅佳秀 范兵 謝學(xué)軍;采取靈活策略應(yīng)對(duì)LED專利重壓[N];中國(guó)電子報(bào);2012年

5 蔡維希;新一代白光LED材料研發(fā)成功[N];中國(guó)化工報(bào);2013年

6 詩(shī)文;臺(tái)白光LED明年市場(chǎng)占有率達(dá)五成[N];電子資訊時(shí)報(bào);2004年

7 鄧楠 《金周刊》記者 丁一;未來(lái)新概念——白光LED讓資本趨之若鶩[N];中國(guó)經(jīng)營(yíng)報(bào);2001年

8 湖南 肖國(guó)平;維修白光LED臺(tái)燈[N];電子報(bào);2007年

9 許志順 DigiTimes;臺(tái)廠白光LED：難逃日廠專利緊箍咒[N];電子資訊時(shí)報(bào);2006年

10 記者 萬(wàn)林 北京;白光LED迎來(lái)發(fā)展機(jī)遇 2008年將增長(zhǎng)16%[N];電子資訊時(shí)報(bào);2008年

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 于音;白光LED用稀土離子摻雜熒光材料的制備及光譜性能研究[D];南開大學(xué);2013年

2 嚴(yán)小松;白光LED用熒光材料的制備與性能研究[D];上海交通大學(xué);2011年

3 王樂(lè);白光LED高效封裝結(jié)構(gòu)及燈具級(jí)散熱機(jī)理的研究[D];浙江大學(xué);2012年

4 湯安;白光LED用含銦及鈮酸釓紅色熒光粉的發(fā)光性能研究[D];重慶大學(xué);2012年

5 張建立;硅襯底氮化鎵基黃光LED外延生長(zhǎng)與器件性能研究[D];南昌大學(xué);2014年

6 慈志鵬;幾種LED用氧化物基熒光粉的制備和發(fā)光性能研究[D];蘭州大學(xué);2010年

7 肖芬;紫外激發(fā)白光LED熒光粉的制備及發(fā)光特性研究[D];華南理工大學(xué);2011年

8 谷捚鑫;白光LED用氮系熒光粉的可控制備及發(fā)光性能調(diào)控[D];東華大學(xué);2011年

9 李廣環(huán);白光LED用熒光粉的制備與性能研究[D];吉林大學(xué);2012年

10 宋佳音;基于行人穿行的LED道路照明功效研究[D];天津大學(xué);2012年

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 李文杰;無(wú)線LED智能照明控制系統(tǒng)的低功耗研究與設(shè)計(jì)[D];華南理工大學(xué);2015年

2 關(guān)沃歡;LED遠(yuǎn)程熒光膜片照明系統(tǒng)研究[D];華南理工大學(xué);2015年

3 唐洪亮;基于YAG系熒光粉的白光LED可靠性研究[D];華南理工大學(xué);2015年

4 陳思秋;白光LED用NaLaBB'O_6熒光粉的發(fā)光性能研究[D];陜西科技大學(xué);2015年

5 張華健;LED白光在二次配光設(shè)計(jì)中的顏色均勻性研究[D];復(fù)旦大學(xué);2013年

6 李榮玲;基于白光LED的可見光通信系統(tǒng)[D];復(fù)旦大學(xué);2014年

7 常文瑞;紫外、近紫外白光LED用鋁酸鹽、硅酸鹽發(fā)光材料的制備及發(fā)光性能研究[D];蘭州大學(xué);2015年

8 秦琳;暖白光LED用新型紅色熒光粉的制備與性能研究[D];蘇州大學(xué);2015年

9 柳少華;暖白光LED用紅色熒光粉的制備及發(fā)光性質(zhì)研究[D];江西理工大學(xué);2015年

10 牛雅亮;基于LED的便攜式土壤有機(jī)質(zhì)檢測(cè)儀的研制[D];山西農(nóng)業(yè)大學(xué);2015年

  本文關(guān)鍵詞：LED晶圓貼片過(guò)程中壓力的二階段模糊決策與控制，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

本文編號(hào)：427279