發(fā)布時間：2017-06-06 08:16

  本文關(guān)鍵詞：緩沖層和保護層提高激光增透膜損傷閾值，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：為提高離子束濺射制備1 064 nm、532 nm雙波長增透膜抗激光損傷閾值,分別在靠近基板、空氣側(cè)加鍍一定厚度二氧化硅膜層,研究緩沖層、保護層對增透膜抗激光損傷閾值的影響。依據(jù)ISO21254-2損傷測試標準,測試不同膜系結(jié)構(gòu)增透膜抗1 064 nm波長激光損傷閾值。實驗結(jié)果表明,二氧化硅緩沖層提高增透膜抗激光損傷閾值約65.4%;二氧化硅保護層提高增透膜抗激光損傷閾值約66.7%;同時加鍍緩沖層、保護層增透膜抗激光損傷閾值顯著提高約119%。
【作者單位】： 中國科學院光電技術(shù)研究所;中國科學院大學;
【關(guān)鍵詞】： 緩沖層 保護層 激光增透膜 損傷閾值
【分類號】：TN249
【正文快照】：

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