本文關(guān)鍵詞：緩沖層和保護(hù)層提高激光增透膜損傷閾值，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：為提高離子束濺射制備1 064 nm、532 nm雙波長(zhǎng)增透膜抗激光損傷閾值,分別在靠近基板、空氣側(cè)加鍍一定厚度二氧化硅膜層,研究緩沖層、保護(hù)層對(duì)增透膜抗激光損傷閾值的影響。依據(jù)ISO21254-2損傷測(cè)試標(biāo)準(zhǔn),測(cè)試不同膜系結(jié)構(gòu)增透膜抗1 064 nm波長(zhǎng)激光損傷閾值。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,二氧化硅緩沖層提高增透膜抗激光損傷閾值約65.4%;二氧化硅保護(hù)層提高增透膜抗激光損傷閾值約66.7%;同時(shí)加鍍緩沖層、保護(hù)層增透膜抗激光損傷閾值顯著提高約119%。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所;中國(guó)科學(xué)院大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 緩沖層 保護(hù)層 激光增透膜 損傷閾值
【分類號(hào)】：TN249
【正文快照】：

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