利用飛秒激光技術(shù)對(duì)目標(biāo)物體進(jìn)行燒蝕加工時(shí),飛秒激光的瞬時(shí)高密度能量可以完成對(duì)目標(biāo)物體的燒蝕。在利用飛秒激光技術(shù)對(duì)單晶硅片進(jìn)行微尺度結(jié)構(gòu)燒蝕時(shí),硅晶體表面常常衍生出等離子體光斑。由于等離子體光斑圖像外部光暈部分存在擴(kuò)散現(xiàn)象,使得光斑圖像及其核心區(qū)域的邊界輪廓變得模糊不清。所以,有效、精確地濾除等離子體光斑最外部的光暈部分,得到光斑圖像的核心區(qū)域具有重要的理論以及實(shí)際意義。使用CCD相機(jī)采集不同燒蝕功率下的等離子體光斑圖像,分析不同燒蝕功率與光斑特征之間的關(guān)系。首先,通過(guò)圖像濾波消除原始光斑圖像中的噪聲。使用多尺度Retinex增強(qiáng)法對(duì)光斑圖像進(jìn)行增強(qiáng)處理,突出光斑核心區(qū)域到光暈之間過(guò)渡的層次。然后,采用最大類間方差法與人為經(jīng)驗(yàn)對(duì)光斑圖像進(jìn)行分割,濾除一些不符合期望的像素點(diǎn)。邊緣檢測(cè)時(shí),采用Canny算子可以避免提取的光斑圖像邊緣產(chǎn)生斷裂現(xiàn)象,得到連續(xù)的輪廓特征。之后,使用Freeman鏈碼提取光斑輪廓,得到圖像的Hu不變矩特征及歸一化傅里葉描述子可以表達(dá)光斑圖像輪廓特征的結(jié)論。最后,利用多核學(xué)習(xí)思想,構(gòu)建新的復(fù)合核函數(shù),分別將歸一化后的傅里葉描述子以及Hu不變矩作為輸入樣本,對(duì)光斑圖像分類...

【文章頁(yè)數(shù)】：70 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

圖5不同燒蝕功率的光斑圖像

第2章飛秒激光等離子體光斑圖像處理-11-圖5不同燒蝕功率的光斑圖像Fig.5Spotimageunderdifferentablationpower從圖中可以清楚地觀察到，隨著飛秒激光燒蝕功率的逐步增大，所得到的光斑圖像直徑也越來(lái)越大，其亮度也越來(lái)越亮。如圖6所示，在對(duì)目標(biāo)物體....

圖6不同燒蝕功率光斑直徑大小及亮度比較

第2章飛秒激光等離子體光斑圖像處理-11-圖5不同燒蝕功率的光斑圖像Fig.5Spotimageunderdifferentablationpower從圖中可以清楚地觀察到，隨著飛秒激光燒蝕功率的逐步增大，所得到的光斑圖像直徑也越來(lái)越大，其亮度也越來(lái)越亮。如圖6所示，在對(duì)目標(biāo)物體....

圖7不同燒蝕階段的光斑圖像

第2章飛秒激光等離子體光斑圖像處理-11-圖5不同燒蝕功率的光斑圖像Fig.5Spotimageunderdifferentablationpower從圖中可以清楚地觀察到，隨著飛秒激光燒蝕功率的逐步增大，所得到的光斑圖像直徑也越來(lái)越大，其亮度也越來(lái)越亮。如圖6所示，在對(duì)目標(biāo)物體....

圖8密度分割法處理的光斑圖像

理就是將二值圖像轉(zhuǎn)化為彩色圖像，或者是將單色圖像轉(zhuǎn)變成給定的彩色分布圖像，目的是提高圖像內(nèi)容的可辨識(shí)度。主要包括密度分割法、空間域灰度級(jí)-彩色變換、頻率域偽彩色增強(qiáng)法三種[45]。密度分割法是對(duì)圖像的亮度范圍進(jìn)行分割，使一定亮度間隔對(duì)應(yīng)某一類物體或某幾類物體。在一幅黑白圖像上，點(diǎn)....

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