在我們以前的工作[1]中,報道了基于重?fù)脚鸸杵╬⁺-Si）上摻Er的TiO₂（TiO₂∶Er）薄膜的TiO₂∶Er/p⁺-Si異質(zhì)結(jié)器件的電致發(fā)光。本文研究了TiO₂∶Er薄膜的氬（Ar）等離子體處理對TiO₂∶Er/p⁺-Si異質(zhì)結(jié)器件電致發(fā)光的影響。研究發(fā)現(xiàn):Ar等離子體處理使TiO₂∶Er/p⁺-Si異質(zhì)結(jié)器件與Er3+離子相關(guān)的可見和近紅外電致發(fā)光都得到了顯著的增強(qiáng),同時也增強(qiáng)了與TiO₂基體中氧空位相關(guān)的電致發(fā)光。這是由于Ar等離子體處理顯著提高了TiO₂∶Er薄膜中的氧空位濃度,不但增強(qiáng)了與氧空位相關(guān)的電致發(fā)光,而且增強(qiáng)了以氧空位為敏化中心的從TiO₂基體向Er3+離子的能量傳遞,從而增強(qiáng)了Er3+離子的發(fā)光。

【文章頁數(shù)】：5 頁

【文章目錄】：
1 引言
2 實(shí)驗(yàn)
3 結(jié)果與討論
4 結(jié)論



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