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MBE生長GaAs/AlGaAs量子阱材料結(jié)構(gòu)及其光學(xué)性能研究

發(fā)布時(shí)間:2024-05-17 03:36
  系統(tǒng)研究了I類組分量子阱結(jié)構(gòu)材料GaAs/AlGaAs的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、材料表征及光學(xué)性能。利用分子束外延(MBE)技術(shù)生長量子阱材料,原子力顯微鏡(AFM)測量結(jié)果表明樣品表面粗糙度達(dá)到10-1 nm數(shù)量級。X射線雙晶衍射測試結(jié)果顯示材料具備良好的生長質(zhì)量及晶格完整性。室溫光致發(fā)光譜探測出量子阱導(dǎo)帶電子與價(jià)帶輕重空穴的復(fù)合發(fā)光,及施主-受主(D-A)能級間距與GaAs禁帶寬度。綜合分析結(jié)果表明用MBE方法制備實(shí)現(xiàn)了與設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)高度相符的GaAs/Al0.27Ga0.73As量子阱樣品,為后期器件設(shè)計(jì)的精確實(shí)現(xiàn)提供了理論依據(jù)。

【文章頁數(shù)】:5 頁

【部分圖文】:

圖1GaAs/AlGaAs超晶格樣品結(jié)構(gòu)示意圖

圖1GaAs/AlGaAs超晶格樣品結(jié)構(gòu)示意圖

0.5μmGaAs接觸層,接著生長50周期GaAs/AlGaAs量子阱層,最后再生長一層0.5μm的GaAs接觸層。Al原子含量為0.27,GaAs層的Si摻雜濃度均為6×1017cm-3[4]。樣品結(jié)構(gòu)如圖1所示,由多量子阱結(jié)構(gòu)中的電子干涉理論[7]計(jì)算得該結(jié)構(gòu)的峰值吸收波長為....


形貌圖圖2樣品的AFM形貌圖(b)

形貌圖圖2樣品的AFM形貌圖(b)

AFM)對樣品表面形貌進(jìn)行觀測。AFM是靠探測針尖與樣品表面微弱的原子間相互作用力的變化來觀察表面結(jié)構(gòu),得到的是對應(yīng)于表面總電子密度的形貌,適用于所有材料,接觸式和輕敲式模式下的橫向分辨率可高達(dá)1.0nm。實(shí)驗(yàn)中使用NanonaviE-Sweep型環(huán)境可控掃描探針顯微鏡對樣品進(jìn)行....


圖3X射線雙晶搖擺曲線

圖3X射線雙晶搖擺曲線

看出,樣品表面呈現(xiàn)臺階形層狀生長形貌,均方根粗糙度RMS為0.2081nm,平均面粗糙度Ra為0.1527nm,表明樣品表面平整度高,呈現(xiàn)高質(zhì)量的二維層狀生長形貌。2.2結(jié)構(gòu)特性分析X射線雙晶衍射方法制樣簡單、測量精度高,且對樣品無損傷,已被廣泛應(yīng)用于超晶格樣品結(jié)構(gòu)參數(shù)的精確測定....


圖1-2不同類型的子帶間躍遷

圖1-2不同類型的子帶間躍遷

上海交通大學(xué)碩士學(xué)位論文第一章緒論造商已經(jīng)推出了長波單色焦平面和雙色(中波-長波)焦平面產(chǎn)品。從量子阱紅外探測器的發(fā)展過程來看,性能提高的關(guān)鍵是,通過優(yōu)化改進(jìn)量子阱阱寬、壘高、壘寬等結(jié)構(gòu)參數(shù),改變材料的能態(tài)分布,從而達(dá)到探測目標(biāo)的精確實(shí)現(xiàn)。1.2.2三種不同躍遷形式的QW....



本文編號:3975328

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