雙周期漸變光子晶體結(jié)構(gòu)及其納米聚焦效應(yīng)
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【部分圖文】:
圖1雙錐干涉模型。
激光全息光刻的原理是利用多光束干涉理論,形成穩(wěn)定性變化的周期性圖案,并將其記錄在光敏材料上,形成具有一定應(yīng)用的器件結(jié)構(gòu)。本文在雙錐干涉模型的基礎(chǔ)上,研究了內(nèi)錐角、增量角、光強、偏振等光學(xué)參數(shù)對干涉所形成的光子結(jié)構(gòu)的影響,并對該干涉模型進行仿真,發(fā)現(xiàn)了新的光子結(jié)構(gòu)。圖1(a)是雙錐....
圖2增量角Δθ=10°的情況下,內(nèi)錐角增大時所形成的光子結(jié)構(gòu)和周期圖。
本節(jié)與3.2節(jié)考慮的是3束內(nèi)錐光束與3束外錐光束偏振態(tài)完全相同的情況。將參數(shù)θ=20°,Δθ=10°,λ=355nm,代入(1)~(7)式就可得到圖2(a)所示的光子結(jié)構(gòu)圖,在干涉圖案中可以明顯地觀察到雙周期漸變結(jié)構(gòu)。采用同樣的方法得到了Δθ=10°、θ=30°以及Δθ=10°....
圖3內(nèi)錐角θ=30°不變,增量角Δθ增大時得到的光子結(jié)構(gòu)圖。(a)Δθ=2°;(b)Δθ=6°;(c)Δθ=10°
在內(nèi)錐角θ=30°、增量角Δθ=10°的條件下,研究內(nèi)外錐光束強度變化所形成的光子結(jié)構(gòu)。圖4(a)為內(nèi)錐光束光強Iin變?yōu)樵瓉淼?.5倍時所形成的光子結(jié)構(gòu),圖4(b)為內(nèi)錐光束光強Iin變?yōu)樵瓉淼?倍時所形成的光子結(jié)構(gòu),將得到的光子結(jié)構(gòu)與圖2(b)進行對比,發(fā)現(xiàn)光子結(jié)構(gòu)并沒有發(fā)生....
圖4在不同的內(nèi)錐光束光強與外錐光束光強下得到的光子結(jié)構(gòu)。
圖3內(nèi)錐角θ=30°不變,增量角Δθ增大時得到的光子結(jié)構(gòu)圖。(a)Δθ=2°;(b)Δθ=6°;(c)Δθ=10°綜上可知,內(nèi)錐光束與外錐光束的光強差異會影響光子晶體的邊緣結(jié)構(gòu)。內(nèi)錐光束與外錐光束的光強一樣,當外錐光束的光強變大時,所形成的光子晶體的小周期的邊緣結(jié)構(gòu)更....
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