為了優(yōu)化相位重建算法,針對(duì)波面干涉圖的傅里葉頻譜,分析了不同濾波窗口的分布特征和頻譜響應(yīng),通過(guò)計(jì)算機(jī)仿真和實(shí)驗(yàn)測(cè)試,確定了FFT動(dòng)態(tài)相位重建算法的最佳濾波窗口類型。其中處理仿真干涉圖重建的波面與原始波面的波面峰谷值殘差為0.008 5λ,波面均方根值殘差為0.000 1λ;處理實(shí)驗(yàn)干涉圖獲得的波面與移相干涉測(cè)量法獲得的波面峰谷值殘差為0.009 3λ,波面均方根值殘差為0.000 5λ。結(jié)果表明:選取Hamming窗進(jìn)行濾波處理并重建的相位經(jīng)擬合后得到的波面較參考波面的面形殘差最小,相位重建精度優(yōu)于0.01λ,可進(jìn)一步應(yīng)用于大口徑光學(xué)元件的測(cè)量中。

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