現(xiàn)代無線通信技術(shù)的飛速發(fā)展使得無線電頻譜資源比較匱乏,因此對于通信設(shè)備有了更為嚴格的要求。目前,對于易加工、重量輕、體積小、成本低、高品質(zhì)因數(shù)且易于集成的無源濾波器的研究也成為微波技術(shù)領(lǐng)域的熱點。隨著MEMS(微機電系統(tǒng))技術(shù)的快速發(fā)展,MEMS諧振器諧振頻率、濾波器的運動電阻、功率處理能力等參數(shù)已經(jīng)能夠達到無線通信的技術(shù)要求。與此同時研究表明耦合諧振器陣列有助于降低運動電阻、提高功率處理能力等。據(jù)此,本論文的主要研究內(nèi)容包括:首先分析了圓盤諧振器陣列的排列方式及耦合梁的分布情況對MEMS陣列耦合諧振器性能的影響,得出諧振器陣列的布局方式并不會影響到諧振頻率,而陣列中耦合梁數(shù)目會對諧振頻率產(chǎn)生線性影響的結(jié)論。因此繼續(xù)仿真分析了陣列耦合圓盤個數(shù)對陣列諧振器的影響。結(jié)果表明由2個圓盤諧振器構(gòu)成陣列耦合諧振器時,陣列整體諧振頻率相對于單圓盤諧振器會產(chǎn)生一個較大的偏移達231.9ppm,對于圓盤耦合陣列諧振器,耦合圓盤個數(shù)越多的情況下,單圓盤諧振器的增加或減少對耦合陣列整體諧振頻率的改變程度越小。也就是說對于圓盤耦合陣列諧振器,耦合圓盤個數(shù)越多的情況下,單圓盤諧振器的個數(shù)變化對耦合陣列整體諧振...

【文章頁數(shù)】：69 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖1.10平板諧振器示意圖

圖1.10平板諧振器示意圖諧振器最早由VTT實現(xiàn)，如圖1.10所示、提高電容。VTT利用這種結(jié)構(gòu)實現(xiàn)了第容及工作安排S諧振器陣列的相關(guān)性能，分析了MEMS的影響。并且設(shè)計了一種基于硅襯底空腔振器。最后，本文分析了DRIE工藝下的出一種半高型耦合梁設(shè)計結(jié)構(gòu)。以....

圖2.3圓盤徑向振動模態(tài)圖

盤每單位徑向位移對應(yīng)的輸入電極-圓盤間電容改表示為1()=01011=00102況下輸入電極與圓盤間的電容，即0=ε0πRh/d。數(shù)展開，表達式如下1=00(112233)1=20，....

圖2.8酒杯式盤諧振器振動模態(tài)形變分布圖

19圖2.8酒杯式盤諧振器振動模態(tài)形變分布圖振動模態(tài)形變分布如圖2.8所示，從圖中可以看出運動，是一種復(fù)合振動模式，所以除了圓盤中心節(jié)意的是，酒杯式盤諧振器在振動節(jié)點處位移為零。，使其具備更高的品質(zhì)因數(shù)[48]，支撐梁通常被固定諧振頻率可以由振動模式方程得到Ψ(/....

圖3.8耦合陣列諧振器不同排列方式對諧振頻率的影響

圖3.8耦合陣列諧振器不同排列方式對諧振頻率的影響，Mode1-Mode10排列方式下的陣列耦合諧振器諧振頻率數(shù)目開始增多時（Mode10-Mode16），陣列耦合諧振器諧似線性變大。結(jié)果表明諧振器陣列的布局方式并不會影會對諧振頻率產(chǎn)生線性影響。因此在設(shè)計中可以參照工可通過....

本文編號：3916206