近年來,飛秒激光對材料的燒蝕研究領域得到了廣泛的關注,飛秒激光微加工技術并在工業(yè)加工領域有著良好的應用前景。飛秒脈沖激光脈寬較短,材料燒蝕過程中熱影響區(qū)域小,而整形飛秒激光不僅具有此優(yōu)點,并且可以任意改變脈沖形狀實現(xiàn)對燒蝕過程的有效控制,因此整形飛秒激光將在微加工領域呈現(xiàn)出更多的優(yōu)勢。本文采用整形飛秒激光脈沖燒蝕單晶銅和GDP薄膜,通過大量實驗數(shù)據(jù)分析了整形飛秒激光燒蝕單晶銅的物理機制和GDP薄膜微孔形成的規(guī)律,具體的研究內容如下:(1)使用整形飛秒激光對單晶銅的進行單脈沖燒蝕,探究了不同能量通量下整形飛秒激光子脈沖個數(shù)及相鄰子脈沖時間間隔的變化對燒蝕坑深度、表面積、體積和坑內形貌的影響。實驗結果表明隨著相鄰子脈沖時間間隔的增加,燒蝕坑的深度逐漸減小,表面積逐漸增大,且深度的變化率大于表面積的變化率,因此燒蝕坑體積隨子脈沖時間間隔的增加而減小。深度、表面積、體積等參數(shù)的變化趨勢在不同的能量通量條件下相同,但變化的程度不同。我們結合受激輻射熱傳導機制、等離子體的屏蔽機制、電子-晶格耦合機制等幾個方面對深度、表面積和體積的變化趨勢進行了分析和解釋。(2)在整形飛秒激光對GDP薄膜進行的鉆孔...

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