近十年來國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)在產(chǎn)品研發(fā)、技術(shù)創(chuàng)新方面得到了長(zhǎng)足發(fā)展,半導(dǎo)體制造技術(shù)逐步走向世界頂端。近年我國(guó)大力發(fā)展晶圓制造業(yè),根據(jù)SEMI統(tǒng)計(jì),2017至2020年全球計(jì)劃興建晶圓廠62座,其中26座將落戶中國(guó),占比達(dá)40%。晶圓廠建設(shè)中自動(dòng)化物料運(yùn)輸系統(tǒng)(Automated Material Handling System,AMHS)設(shè)計(jì)是極其重要的組成部分之一,AMHS的軌道布局質(zhì)量及其運(yùn)行效率將直接影響整個(gè)晶圓廠的效益。因此對(duì)AMHS軌道布局優(yōu)化與調(diào)度(包含調(diào)度任務(wù)匹配與調(diào)度路徑優(yōu)化)展開研究,具有重要意義。本文主要從軌道布局優(yōu)化、調(diào)度任務(wù)匹配、調(diào)度路徑優(yōu)化三方面展開研究。(1)基于離散事件仿真的AMHS軌道布局優(yōu)化研究。基于網(wǎng)絡(luò)流模型對(duì)晶圓廠車間區(qū)域布局進(jìn)行初步設(shè)計(jì),得到較優(yōu)車間區(qū)域布局;在此布局基礎(chǔ)上采用離散事件方法仿真對(duì)運(yùn)輸軌道布局進(jìn)行優(yōu)化,分別將捷徑數(shù)量、小車運(yùn)行速度、小車數(shù)量作為研究變量,通過實(shí)驗(yàn)仿真結(jié)果對(duì)比,得出捷徑數(shù)量、小車運(yùn)行速度、小車數(shù)量對(duì)生產(chǎn)性能產(chǎn)生一定的影響,并研究之間的相關(guān)性,對(duì)于物料運(yùn)輸系統(tǒng)配置具有參考意義。(2)基于遺傳混合啟發(fā)式規(guī)則的Interbay物料...

【文章頁(yè)數(shù)】：70 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

圖1IC制造流程圖

尋找可以有效提高AMHS調(diào)度運(yùn)行效率的方法，對(duì)提高晶圓廠市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力具有要現(xiàn)實(shí)意義。1.1.2課題來源本課題來源于國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目：大規(guī)模復(fù)雜隨機(jī)晶圓制造自動(dòng)化物料運(yùn)輸統(tǒng)實(shí)時(shí)多目標(biāo)調(diào)度研究，項(xiàng)目編號(hào)：U1704156。1.2半導(dǎo)體晶圓制造工藝流程我國(guó)IC（Integr....

圖2300mm典型晶圓制造AMHS在晶圓運(yùn)輸過程中，空載小車沿著軌道單向運(yùn)行，當(dāng)倉(cāng)庫(kù)存儲(chǔ)端口有需要運(yùn)輸?shù)木?br>
2.1引言AMHS軌道布局對(duì)降低晶圓制造成本具有重要作用[28]，因此軌道布局設(shè)計(jì)是晶圓制造成本控制的重要部分之一。軌道布局與車間區(qū)域布局具有一定相關(guān)性，想要對(duì)軌道布局進(jìn)行優(yōu)化，需要有一個(gè)確定的車間區(qū)域布局。車間區(qū)域布局完成后，對(duì)軌道布局進(jìn)行優(yōu)化，軌道布局的優(yōu)劣將會(huì)直接影響到....

圖3離散簡(jiǎn)化Interbay物料運(yùn)輸系統(tǒng)

運(yùn)輸小車之間不能互相超越[29]。AMHS的物料運(yùn)輸是連續(xù)的，為了對(duì)整個(gè)Interbay物料運(yùn)輸系統(tǒng)更好的描述和分析，首先進(jìn)行離散化處理，僅僅考慮各運(yùn)輸小車在倉(cāng)庫(kù)裝卸點(diǎn)位置的狀態(tài)，將連續(xù)的自動(dòng)化物料運(yùn)輸系統(tǒng)離散化處理過程如下。設(shè)定(m)為具有輛運(yùn)輸小車的Interba....

圖4網(wǎng)絡(luò)流有向圖

圖4網(wǎng)絡(luò)流有向圖作“1”，若定點(diǎn)間無聯(lián)系則用“下關(guān)聯(lián)矩陣是通過有向圖2.3得123401100000010110000001有向邊，分別記作={,,A，元素取值規(guī)則如下：1, 節(jié)點(diǎn)為起點(diǎn)，節(jié)點(diǎn)....

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