設(shè)計了一種用于微機電系統(tǒng)(MEMS)陀螺傳感器中的高精度ZOOM型模數(shù)轉(zhuǎn)換器(ADC)。該結(jié)構(gòu)由逐次逼近型(SAR)ADC和Sigma Delta調(diào)制器構(gòu)成,通過SAR ADC的粗略轉(zhuǎn)換縮小了Sigma Delta調(diào)制器的參考范圍,提高了整體的轉(zhuǎn)換精度。基于0.35 um BCD工藝對該結(jié)構(gòu)進行電路設(shè)計,并進行指標(biāo)仿真。仿真結(jié)果表明,該ZOOM ADC對中心頻率10 KHz、帶寬100 Hz的信號轉(zhuǎn)換動態(tài)范圍達(dá)到120 dB,滿足MEMS陀螺接口電路中ADC的性能要求。

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【文章目錄】：
0 引 言
1 原 理
2 電路設(shè)計
3 仿真結(jié)果
4 結(jié) 論



本文編號：3862927