提出了一種微帶線控制的磁流體微環(huán)光開關(guān)芯片結(jié)構(gòu),其中硅基微環(huán)諧振器波導(dǎo)的內(nèi)外兩側(cè)集成有環(huán)狀金屬微帶線,且兩個環(huán)狀金屬微帶線中所通電流方向相反。當(dāng)芯片上覆蓋有鐵磁流體時,通過改變輸入到金屬微帶線的電流大小可實(shí)現(xiàn)光開關(guān)功能。以單個微環(huán)諧振器情形為例,描述了這種鐵磁流體開關(guān)結(jié)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計過程,仿真分析了微環(huán)周長、輸入輸出硅線波導(dǎo)與硅基微環(huán)之間耦合比及磁場強(qiáng)度等參數(shù)對磁流體微環(huán)光開關(guān)特性的影響。研究表明,在1550 nm工作波長處,只需施加150 Oe的開關(guān)磁場(對應(yīng)的微帶線電流約為447 mA)即可實(shí)現(xiàn)消光比為10 dB的微環(huán)光開關(guān)功能。

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