為研制太赫茲多頻段高靈敏度探測儀,依靠太赫茲砷化鎵平面肖特基二極管的非線性特性,結(jié)合石英薄膜工藝,設計了寬帶0.67THz諧波混頻器,并分析了砷化鎵平面肖特基二極管性能表征參數(shù)指標對太赫茲混頻器性能的影響。0.67THz諧波混頻器采用整體綜合的設計方法,結(jié)合電氣仿真軟件ADS和電磁仿真軟件HFSS,優(yōu)化電路中不連續(xù)性微帶與波導之間的電磁空間耦合效率,以混頻器的變頻損耗為優(yōu)化目標,最終實現(xiàn)0.67THz諧波混頻器仿真設計。0.62～0.72THz射頻范圍內(nèi),混頻器單邊帶最低變頻損耗小于8dB,本振功率小于4mW,本振端口與中頻端口、射頻端口與中頻端口之間隔離度大于-30 dB。

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