本文關(guān)鍵詞：浸沒流場微振動力測試及動態(tài)補償研究，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：浸沒式光刻是目前在45納米以下集成電路生產(chǎn)線上唯一獲得大規(guī)模應(yīng)用的投影光刻新技術(shù),區(qū)別于傳統(tǒng)的干式光刻法,浸沒式光刻通過在最后一片投影物鏡和硅片之間填充浸沒液體提高曝光分辨率,為了保證良品率,浸沒系統(tǒng)采用了持續(xù)更新技術(shù)來確保浸沒液體的純凈度、溫度等環(huán)境指標滿足要求,但注液與回收系統(tǒng)會帶來流場的不穩(wěn)定,產(chǎn)生振動,可能會引起曝光線條的堆疊和交錯等缺陷,所以對浸沒流場振動力的監(jiān)測非常有必要,但浸沒流場振動力只有±0.2N,頻率高達300Hz左右,實現(xiàn)這樣小量程高頻響的測試系統(tǒng)設(shè)計是一個很大的難題(具體見第二章)。本課題主要研究了低頻響測試系統(tǒng)的動態(tài)補償,以實現(xiàn)高精度高響應(yīng)的動態(tài)測試要求,在此過程中主要研究了以下問題：1)分析本課題中測試系統(tǒng)出現(xiàn)動態(tài)失真的具體原因除了傳感器性能限制,也在于間接測量帶來的中間傳輸環(huán)節(jié)的低通濾波效應(yīng),并通過設(shè)計頻譜測試實驗進行了驗證；2)動態(tài)建模實驗中,突破了傳統(tǒng)上負階躍力加載方式的選擇,采用電磁階躍力,使得實驗平臺搭建更加簡單,負階躍力調(diào)節(jié)更加精準方便,調(diào)節(jié)范圍更大；3)分析發(fā)現(xiàn),負階躍響應(yīng)振蕩信號的頻帶,與剩磁效應(yīng)引起干擾信號的頻帶不重合,從而采用高通濾波器消除了電磁負階躍力的剩磁抬升干擾,提高系統(tǒng)建模的精度；4)針對負階躍響應(yīng)出現(xiàn)的波形局部失真和響應(yīng)特點,提出了全波模型辨識與截波參數(shù)優(yōu)化相結(jié)合的方法,實現(xiàn)了測試系統(tǒng)的建模,并采用基于最小二乘法的遺傳算法實現(xiàn)了滿意的參數(shù)優(yōu)化效果；5)結(jié)合靜態(tài)重標定與動態(tài)補償對測試系統(tǒng)進行性能改善,實現(xiàn)了小測量范圍內(nèi)的高精度與高頻響的測試系統(tǒng)設(shè)計與測試性能評價,動態(tài)頻響≥300Hz,拓寬≥47%,測試精度≥±0.024N,達到系統(tǒng)設(shè)計要求。
【關(guān)鍵詞】：振動力 動態(tài)補償 系統(tǒng)建模 靜態(tài)標定 參數(shù)優(yōu)化 最小二乘法 遺傳算法 頻譜分析
【學位授予單位】：浙江大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2016
【分類號】：TN305.7
【目錄】：

• 致謝4-5
• 摘要5-6
• ABSTRACT6-12
• 1 緒論12-26
• 1.1 課題的研究背景及意義12-14
• 1.1.1 浸沒式光刻技術(shù)簡介12-13
• 1.1.2 本課題的研究意義13-14
• 1.2 動態(tài)系統(tǒng)建模理論調(diào)研14-15
• 1.3 動態(tài)系統(tǒng)補償調(diào)研15-21
• 1.3.1 測試系統(tǒng)動態(tài)誤差及其補償?shù)母拍?/span>15-17
• 1.3.2 測試系統(tǒng)動態(tài)誤差補償過程17-18
• 1.3.3 動態(tài)補償研究現(xiàn)狀18-21
• 1.4 研究內(nèi)容及方案21-26
• 1.4.1 課題來源21-23
• 1.4.2 研究內(nèi)容23
• 1.4.3 研究目標23-26
• 2 浸沒流場振動力測試方案設(shè)計26-43
• 2.1 浸沒流場介紹及振動受力分析26-29
• 2.1.1 浸沒流場及振動力介紹26-27
• 2.1.2 浸沒流場各受力體受力分析27-28
• 2.1.3 硅片振動加速度測試28-29
• 2.1.4 浸沒流場受力分析總結(jié)29
• 2.2 傳感器及設(shè)備調(diào)研29-30
• 2.3 振動信號頻譜測試30-39
• 2.3.1 頻譜測試的目的30-31
• 2.3.2 振動頻譜測試方案31-33
• 2.3.3 振動頻譜測試系統(tǒng)搭建33-34
• 2.3.4 頻譜測試數(shù)據(jù)采集及分析34-39
• 2.4 浸沒流場振動力測試方案39-41
• 2.4.1 影響測試方案設(shè)計的因素39-41
• 2.4.2 總體測試方案41
• 2.5 振動力測試方案實施流程41-42
• 2.6 本章小結(jié)42-43
• 3 浸沒流場振動力測試系統(tǒng)靜態(tài)標定43-50
• 3.1 靜態(tài)標定實驗方案43-45
• 3.1.1 方案說明及介紹43-44
• 3.1.2 實驗器材說明及介紹44
• 3.1.3 靜態(tài)標定實驗過程說明44-45
• 3.2 靜態(tài)標定實驗分析45-49
• 3.2.1 實驗數(shù)據(jù)初步分析45-46
• 3.2.2 測試系統(tǒng)靜態(tài)模型分析46
• 3.2.3 力傳感器靜態(tài)技術(shù)指標定義46-47
• 3.2.4 測試系統(tǒng)精度指標計算47-49
• 3.3 浸沒流場振動力靜態(tài)標定結(jié)果評定49
• 3.4 本章小結(jié)49-50
• 4 浸沒流場振動力測試系統(tǒng)動態(tài)建模50-91
• 4.1 測試系統(tǒng)動態(tài)建模實驗方案50
• 4.2 測試系統(tǒng)平臺設(shè)計與搭建50-53
• 4.2.1 浸沒流場振動力測試平臺50-52
• 4.2.2 動態(tài)建模實驗平臺52-53
• 4.3 負階躍實驗方案可行性分析53-57
• 4.3.1 負階躍力實現(xiàn)方式53-54
• 4.3.2 電磁負階躍力方案驗證54-57
• 4.3.3 電磁加載的剩磁和磁滯問題57
• 4.4 系統(tǒng)建模實驗數(shù)據(jù)處理方案及初步分析57-60
• 4.5 測試系統(tǒng)模型參數(shù)初始值估計60-74
• 4.5.1 負階躍響應(yīng)曲線處理及分析60-65
• 4.5.2 測試系統(tǒng)模型類型初步辨識65-68
• 4.5.3 二階系統(tǒng)負階躍響應(yīng)理論分析68-71
• 4.5.4 基于響應(yīng)曲線的參數(shù)理論估計71-73
• 4.5.5 基于參數(shù)估計的動態(tài)性能評價73-74
• 4.6 模型參數(shù)優(yōu)化方案及數(shù)據(jù)預(yù)處理74-81
• 4.6.1 優(yōu)化方案及可行性分析74-76
• 4.6.2 參數(shù)優(yōu)化數(shù)據(jù)的濾波76-80
• 4.6.3 參數(shù)優(yōu)化數(shù)據(jù)的選擇80-81
• 4.7 基于遺傳算法的模型參數(shù)優(yōu)化分析81-86
• 4.7.1 遺傳算法簡介81-82
• 4.7.2 適應(yīng)度函數(shù)設(shè)計82
• 4.7.3 初始值及參數(shù)設(shè)置82-84
• 4.7.4 遺傳算法流程84
• 4.7.5 遺傳算法分析結(jié)果84-86
• 4.8 測試系統(tǒng)動態(tài)建模及誤差評定86-89
• 4.8.1 測試系統(tǒng)動態(tài)建模86
• 4.8.2 負階躍重復(fù)實驗設(shè)計及分析86-89
• 4.9 本章小結(jié)89-91
• 5 浸沒流場振動力測試系統(tǒng)補償設(shè)計91-97
• 5.1 動態(tài)測試系統(tǒng)補償器設(shè)計91-93
• 5.2 測試系統(tǒng)動態(tài)補償效果分析93-94
• 5.3 基于測試補償?shù)慕䴖]流場振動力測試94-96
• 5.3.1 測試補償效果評定94
• 5.3.2 基于測試補償?shù)臏y試實驗94-95
• 5.3.3 基于測試補償?shù)臏y試結(jié)果分析95-96
• 5.4 本章小結(jié)96-97
• 6 總結(jié)與展望97-99
• 6.1 總結(jié)97-98
• 6.2 展望98-99
• 附錄一 頻譜測試原始數(shù)據(jù)99-101
• 附錄二 負階躍實驗原始數(shù)據(jù)101-103
• 附錄三 參數(shù)優(yōu)化遺傳算法適應(yīng)度函數(shù)103-104
• 參考文獻104-107

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  本文關(guān)鍵詞：浸沒流場微振動力測試及動態(tài)補償研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

本文編號：382042