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納米半導(dǎo)體材料制備與器件

發(fā)布時(shí)間:2023-05-07 06:36
  自2004年石墨烯被第一次制備出來(lái)之后,類(lèi)似于石墨烯這種具有二維結(jié)構(gòu)的獨(dú)特材料便開(kāi)始被人們所大量關(guān)注。相比于塊材,二維材料因其獨(dú)特的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)而在很多方面具有奇異的特性,從而可以在很多領(lǐng)域得到很好的應(yīng)用。目前,通過(guò)自上而下或者自下而上的方法,已經(jīng)可以合成各式各樣的二維層狀材料。甚至,通過(guò)控制二維材料的層數(shù)可以控制其物理性質(zhì)。石墨烯是零禁帶材料,需要使用特定的方法打開(kāi)帶隙,這使得其在電子和光電子領(lǐng)域的應(yīng)用受到了很大限制。而相比于石墨烯材料來(lái)說(shuō),二維半導(dǎo)體材料,尤其是二維層狀金屬硫化物半導(dǎo)體,因其合適的禁帶寬度使得其成為下一代電子學(xué)和光電子學(xué)領(lǐng)域的優(yōu)秀備選材料。二維層狀金屬二硫化物通常具有YX2的結(jié)構(gòu)。其中Y代表金屬成分,典型的有鉬、錫、鎢、鎵等。X主要包括硫、硒、碲等。二硫化錫是二維層狀金屬二硫化物家族的重要成員,它有著六角的碘化鎘型結(jié)構(gòu)(即a=0.3648 nm,c=0.5899 nm,空間群P m1)和2.2eV的間接帶隙。在過(guò)去的研究中發(fā)現(xiàn),二硫化錫在諸如鋰離子電池、可見(jiàn)光催化、場(chǎng)效應(yīng)晶體管、傳感器、光檢測(cè)器等領(lǐng)域有著優(yōu)異的表現(xiàn)。尤其是在光檢測(cè)領(lǐng)域,基于二硫化錫...

【文章頁(yè)數(shù)】:60 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】:碩士

【文章目錄】:
摘要
abstract
第一章 引言
    1.1 二維材料概述
    1.2 二維材料介紹
        1.2.1 二維材料分類(lèi)
        1.2.2 二維材料制備
        1.2.3 二維材料應(yīng)用
    1.3 微納加工方法概述
        1.3.1 光刻技術(shù)
        1.3.2 薄膜技術(shù)
        1.3.3 刻蝕技術(shù)
    1.4 本章小結(jié)
第二章 改進(jìn)CVD法高效制備二硫化錫納米片
    2.1 前言
    2.2 實(shí)驗(yàn)部分
        2.2.1 實(shí)驗(yàn)材料與儀器
        2.2.2 實(shí)驗(yàn)步驟與方法
    2.3 結(jié)果與討論
        2.3.1 二硫化錫單晶納米片的形貌表征
        2.3.2 二硫化錫納米片的成分表征
        2.3.3 二硫化錫的TEM檢測(cè)結(jié)果和分析
    2.4 本章小結(jié)
第三章 二硫化錫納米片在場(chǎng)效應(yīng)晶體管方面的應(yīng)用
    3.1 前言
    3.2 實(shí)驗(yàn)部分
        3.2.1 實(shí)驗(yàn)材料與裝置
        3.2.2 實(shí)驗(yàn)步驟與方法
    3.3 結(jié)果與討論
    3.4 本章小節(jié)
第四章 二硫化錫納米片應(yīng)用于光探測(cè)
    4.1 前言
    4.2 實(shí)驗(yàn)部分
    4.3 結(jié)果與討論
        4.3.1 二硫化錫納米片在不同強(qiáng)度光照下的光響應(yīng)
        4.3.2 光檢測(cè)器件的穩(wěn)定性和響應(yīng)速率
        4.3.3 場(chǎng)效應(yīng)控制光檢測(cè)開(kāi)關(guān)比
    4.4 本章小節(jié)
第五章 二硫化錫光探測(cè)器件的性能改進(jìn)
    5.1 前言
    5.2 實(shí)驗(yàn)部分
    5.3 結(jié)果與討論
    5.4 本章小節(jié)
第六章 靜電紡絲制備納米纖維傳感器
    6.1 前言
    6.2 實(shí)驗(yàn)部分
    6.3 結(jié)果與討論
        6.3.1 PMMA/PANI應(yīng)力傳感器測(cè)試結(jié)果
        6.3.2 PAN/SiC壓力傳感器測(cè)試結(jié)果
    6.4 本章小節(jié)
總結(jié)與展望
參考文獻(xiàn)
攻讀學(xué)位期間的研究成果
    1.科研論文
    2.申請(qǐng)專(zhuān)利
致謝



本文編號(hào):3810476

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