以二乙基鋅(DEZ)和水(H₂O)為前驅(qū)體,采用原子層沉積方法在玻璃微球基底上沉積ZnO薄膜,得到核殼結(jié)構(gòu)的ZnO包覆微球。以該微球為核心構(gòu)筑傳感器件,研究了器件的紫外、溫度響應(yīng)特性。由于ZnO固有的光電效應(yīng)以及對O₂的吸附和解吸作用,該器件顯示出較為靈敏的紫外響應(yīng)特性;由于ZnO獨特的熱釋電效應(yīng),該器件能夠靈敏地響應(yīng)溫度變化,電流變化率的靈敏度為7.80%/℃。進(jìn)一步將其應(yīng)用于人體呼吸的實時檢測,實現(xiàn)了對不同人體熱活動狀態(tài)的區(qū)分與監(jiān)測,可廣泛應(yīng)用于醫(yī)療和健康領(lǐng)域。

【文章頁數(shù)】：5 頁

【文章目錄】：
1 實驗部分
    1.1 儀器及試劑
    1.2 傳感器的制備
        1.2.1 基底的表面活化
        1.2.2 Zn O包覆微球的制備
        1.2.3 基于Zn O包覆微球的微傳感器的組裝
    1.3 結(jié)構(gòu)表征與性能測試
        1.3.1 形貌結(jié)構(gòu)及組分表征
        1.3.2 傳感性能測試
2 結(jié)果與討論
    2.1 結(jié)構(gòu)與成分表征
    2.2 基于Zn O包覆微球的傳感器的傳感性能
        2.2.1 紫外響應(yīng)
        2.2.2 溫度響應(yīng)
3 結(jié)論



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