開展了波長(zhǎng)分別為1 064 nm、532 nm和416 nm,脈寬均為5 ns的單脈沖激光損傷CCD的實(shí)驗(yàn),觀測(cè)并比較了不同損傷階段三種波長(zhǎng)激光各自損傷CCD的視頻圖像、微觀形貌、閾值和芯片引腳的電阻阻值,分析了CCD的損傷機(jī)理。在532 nm和416 nm激光所損傷CCD視頻輸出圖像中發(fā)現(xiàn)了并未出現(xiàn)在1 064 nm激光所損傷CCD視頻輸出圖像中的黑點(diǎn)現(xiàn)象;CCD發(fā)生損傷時(shí),微透鏡層的損傷狀況隨輻照激光波長(zhǎng)減小而愈加嚴(yán)重;1 064 nm激光損傷CCD的閾值最高,532 nm和416 nm激光損傷CCD的閾值相近。與未損傷的CCD相比,完全失效CCD的基底與垂直移位寄存器的電阻、垂直移位寄存器間的電阻明顯下降,由此推斷,基底與多晶硅電極的短路或多晶硅電極間的短路是造成CCD白屏的主要原因。

【文章頁(yè)數(shù)】：8 頁(yè)

【文章目錄】：
0 引言
1 實(shí)驗(yàn)裝置
2 實(shí)驗(yàn)結(jié)果及分析
    2.1 點(diǎn)損傷階段
    2.2 線損傷階段
    2.3 完全失效階段
    2.4 各階段損傷閾值分析
    2.5 損傷機(jī)理分析
3 結(jié)論



本文編號(hào)：3801220